セラミック静電チャック（アルミナ）

セラミック静電チャック（アルミナ）は、エッチング・CVD装置のウエハー固定に使う人向けです。セラミック静電チャック（アルミナ）は、アルミナで、クーロン型とジョンソン・ラーベック型の両方を作ります。

セラミック静電チャック（アルミナ）は、直径300mmまで、板厚0.8〜10.0mmで、表面の溝やエンボスも加工します。セラミックの焼成から加工・組立・検査まで自社で一貫して作ります。

セラミック静電チャック（アルミナ）の吸着の種類はクーロン、ジョンソン・ラーベック、材質はアルミナです。大きさは最大直径300mm、板厚0.8〜10.0mm、使用温度は-20〜200℃です。

エッチング・CVD装置のウエハー固定ならセラミック静電チャック（アルミナ）、高温のCVD・エッチング装置ならNGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）で⁠す⁠。セラミック静電チャック（アルミナ）の吸着の種類はクーロン、ジョンソン・ラーベック、材質はアルミナです。NGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。

セラミック静電チャック（アルミナ）の吸着の種類はクーロン、ジョンソン・ラーベックです。TOTOのセラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）の吸着の種類はジョンセン・ラーベック力型、クーロン力型です。

セラミック静電チャック（アルミナ）の使う装置・工程はドライエッチング、プラズマアッシャ、CVD、スパッタです。NGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の使う装置・工程はCVD、エッチングです。

セラミック静電チャック（アルミナ）の特長は表面の溝加工、エンボス加工、表面粗さの調整です。住友大阪セメントの高性能静電チャック SUMICEFINEの特長は吸着・離脱2秒以内です。

エッチング・CVD装置のウエハー固定ならセラミック静電チャック（アルミナ）、ウェハーの固定・反りの矯正・冷却なら京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）で⁠す⁠。セラミック静電チャック（アルミナ）の吸着の種類はクーロン、ジョンソン・ラーベック、材質はアルミナです。京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の材質はアルミナ、窒化アルミ、大きさは直径200・300mmの装置用です。

セラミック静電チャック（アルミナ）は新光電気工業株式会社の製品です。長野市に本社を置き、半導体パッケージ・リードフレーム・ガラス端子・セラミック静電チャックなどを製造・販売しています。