セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）

セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）は、高温のCVD・エッチング装置に使う人向けです。セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）は、窒化アルミの静電チャックで、-50〜700℃の広い温度で使えます。

セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）は、発熱体を埋め込んでヒーターと一体にでき、ウエハー表面の温度を±1%以下にそろえます。200mm・300mm・450mmのウエハーに合わせて作ります。

セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。大きさは200mm・300mm・450mmウエハー、使用温度は-50〜700℃です。

高温のCVD・エッチング装置ならセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）、エッチング・CVD装置のウエハー固定なら新光電気工業のセラミック静電チャック（アルミナ）⁠で⁠す⁠。セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。新光電気工業のセラミック静電チャック（アルミナ）の吸着の種類はクーロン、ジョンソン・ラーベック、材質はアルミナです。

セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロンです。新光電気工業のセラミック静電チャック（アルミナ）の吸着の種類はクーロン、ジョンソン・ラーベックです。

セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着できるものはシリコンウエハーです。京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の吸着できるものはシリコンウェハーです。

セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の使う装置・工程はCVD、エッチングです。京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の使う装置・工程はウェハーの固定、矯正、冷却です。

高温のCVD・エッチング装置ならセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）、ウェハーの固定・反りの矯正・冷却なら京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）で⁠す⁠。セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の材質はアルミナ、窒化アルミ、大きさは直径200・300mmの装置用です。

セラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）はNGK株式会社の製品です。登記上の本店は〒467-0871 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号。産業用・電子電気機器用のセラミック製品を製造・販売しています。