セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）

セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）は、ウェハーの固定・反りの矯正・冷却に使う人向けです。セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）は、セラミックの間に内部電極を入れて一体で焼き固めた静電チャックです。

セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）は、アルミナと窒化アルミの2つの材質があり、直径200mmと300mmの装置に合わせます。ウェハーの固定だけでなく、反りの矯正や冷却にも使います。

セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の材質はアルミナ、窒化アルミ、大きさは直径200・300mmの装置用です。吸着できるものはシリコンウェハー、使う装置・工程はウェハーの固定、矯正、冷却です。

ウェハーの固定・反りの矯正・冷却ならセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）、高温のCVD・エッチング装置ならNGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）で⁠す⁠。セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の材質はアルミナ、窒化アルミ、大きさは直径200・300mmの装置用です。NGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。

セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の特長はセラミックの間に内部電極を入れて一体焼結です。新光電気工業のセラミック静電チャック（アルミナ）の特長は表面の溝加工、エンボス加工、表面粗さの調整です。

ウェハーの固定・反りの矯正・冷却ならセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）、エッチング・CVD装置のウエハー固定なら新光電気工業のセラミック静電チャック（アルミナ）⁠で⁠す⁠。セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の材質はアルミナ、窒化アルミ、大きさは直径200・300mmの装置用です。新光電気工業のセラミック静電チャック（アルミナ）の吸着の種類はクーロン、ジョンソン・ラーベック、材質はアルミナです。

セラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）は京セラ株式会社の製品です。登記上の本店は〒612-8450 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6番地。京セラの主な製品分野はカードエッジコネクタ・アルミナ・切削工具・水晶振動子です。