静電吸着ステージ ESCステージ

静電吸着ステージ ESCステージは、薄いガラス・フィルム・箔の固定に使う人向けです。静電吸着ステージ ESCステージは、ガラス・フィルム・金属箔・紙・多孔質の素材まで吸着する、生産設備向けのステージです。

静電吸着ステージ ESCステージは、面で吸着するので、薄く割れやすいワークに吸着痕やしわを付けません。専用のDC電源とセットで納めます。

静電吸着ステージ ESCステージの吸着の種類はクーロン力、吸着できるものはガラス、フィルム、Si、金属箔、紙、セラミックです。使う装置・工程は成膜、エッチング、真空貼合、検査、搬送、特長は専用のDC電源とセットで納入です。

薄いガラス・フィルム・箔の固定なら静電吸着ステージ ESCステージ、装置メーカーが組み込む樹脂の静電チャックなら巴川コーポレーションの静電チャック エレファンTADです。静電吸着ステージ ESCステージの吸着の種類はクーロン力、吸着できるものはガラス、フィルム、Si、金属箔、紙、セラミックです。巴川コーポレーションの静電チャック エレファンTADの吸着の種類はクーロン力、材質は高絶縁性の接着剤（自社の接着シート）⁠で⁠す⁠。

静電吸着ステージ ESCステージの吸着の種類はクーロン力です。巴川コーポレーションの静電チャック エレファンTADの吸着の種類はクーロン力です。

薄いガラス・フィルム・箔の固定なら静電吸着ステージ ESCステージ、高温のCVD・エッチング装置ならNGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）で⁠す⁠。静電吸着ステージ ESCステージの吸着の種類はクーロン力、吸着できるものはガラス、フィルム、Si、金属箔、紙、セラミックです。NGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。

あります。筑波精工の静電チャックには、静電吸着ステージ ESCステージのほかに静電キャリア Supporter（吸着の種類はクーロン力）があります。

静電吸着ステージ ESCステージは筑波精工株式会社の製品です。登記上の本店は〒329-0617 栃木県河内郡上三川町大字上蒲生字願成寺2168番地10。筑波精工の主な製品分野は静電チャックです。