静電チャック エレファンTAD

静電チャック エレファンTADは、装置メーカーが組み込む樹脂の静電チャックに使う人向けです。静電チャック エレファンTADは、接着シートから自社で作る樹脂の静電チャックで、国内外の装置メーカーへ20年以上OEMで納めています。

静電チャック エレファンTADは、ドライエッチングやCVDのウエハー固定のほか、液晶・有機ELの真空貼り合わせ装置にも使います。ウェットエッチングやレーザーでの加工、真空での貼り合わせも自社で行います。

静電チャック エレファンTADの吸着の種類はクーロン力、材質は高絶縁性の接着剤（自社の接着シート）⁠で⁠す⁠。吸着できるものは半導体ウエハー、薄物基材、使う装置・工程はドライエッチング、CVDです。

装置メーカーが組み込む樹脂の静電チャックなら静電チャック エレファンTAD、極薄ウエハーを貼ったまま工程に流すなら筑波精工の静電キャリア Supporterです。静電チャック エレファンTADの吸着の種類はクーロン力、材質は高絶縁性の接着剤（自社の接着シート）⁠で⁠す⁠。筑波精工の静電キャリア Supporterの吸着の種類はクーロン力、吸着できるものはSi、SiC、GaN、GaAs、ガラスです。

静電チャック エレファンTADの吸着の種類はクーロン力です。筑波精工の静電キャリア Supporterの吸着の種類はクーロン力です。

静電チャック エレファンTADの特長は装置メーカーへ20年以上OEM供給です。筑波精工の静電キャリア Supporterの特長は給電ユニットを外しても吸着を保つ。

装置メーカーが組み込む樹脂の静電チャックなら静電チャック エレファンTAD、薄いガラス・フィルム・箔の固定なら筑波精工の静電吸着ステージ ESCステージです。静電チャック エレファンTADの吸着の種類はクーロン力、材質は高絶縁性の接着剤（自社の接着シート）⁠で⁠す⁠。筑波精工の静電吸着ステージ ESCステージの吸着の種類はクーロン力、吸着できるものはガラス、フィルム、Si、金属箔、紙、セラミックです。

静電チャック エレファンTADは株式会社巴川コーポレーションの製品です。登記上の本店は〒104-0031 東京都中央区京橋2丁目1番3号。巴川コーポレーションの主な製品分野は金属繊維・耐水紙・静電チャックです。