高性能静電チャック SUMICEFINE

高性能静電チャック SUMICEFINEは、金属汚染とパーティクルを抑えたい工程に使う人向けです。高性能静電チャック SUMICEFINEは、吸着力2500gf/cm²超（ドットなし）、吸着と離脱が2秒以内の静電チャックです。

高性能静電チャック SUMICEFINEは、室温〜200℃で使え、吸着面は平面度2μm、表面粗さ0.01μmに仕上げます。フロン系・酸素系のプラズマに強く、ウエハーの金属汚染とパーティクルを抑えます。

高性能静電チャック SUMICEFINEの材質は高純度材料、使用温度は室温〜200℃です。吸着力は2500gf/cm²超（ドットなし）、特長は吸着・離脱2秒以内です。

金属汚染とパーティクルを抑えたい工程なら高性能静電チャック SUMICEFINE、高温のCVD・エッチング装置ならNGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）で⁠す⁠。高性能静電チャック SUMICEFINEの材質は高純度材料、使用温度は室温〜200℃です。NGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。

金属汚染とパーティクルを抑えたい工程なら高性能静電チャック SUMICEFINE、ウェハーの固定・反りの矯正・冷却なら京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）で⁠す⁠。高性能静電チャック SUMICEFINEの材質は高純度材料、使用温度は室温〜200℃です。京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の材質はアルミナ、窒化アルミ、大きさは直径200・300mmの装置用です。

高性能静電チャック SUMICEFINEは住友大阪セメント株式会社の製品です。登記上の本店は〒105-0021 東京都港区東新橋1丁目9番2号。住友大阪セメントの主な製品分野は光変調器・汎用型の無収縮モルタル・超速硬型の無収縮モルタル・コンクリート補修材です。