セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）

セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）は、温度を細かく管理する最先端の工程に使う人向けです。セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）は、ジョンセン・ラーベック力型とクーロン力型の両方を作ります。

セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）のJR力型は低い電圧で強く吸着し、クーロン力型は温度に関係なく吸着の応答時間が一定です。セラミック・ヒーター・冷却ジャケットをまとめて請け負い、450mmのウエハーまで作れます。

セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）の吸着の種類はジョンセン・ラーベック力型、クーロン力型、材質は耐プラズマ性のセラミック素材です。大きさは450mmまで、特長はセラミック・ヒーター・冷却ジャケットを一括です。

温度を細かく管理する最先端の工程ならセラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）、高温のCVD・エッチング装置ならNGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）で⁠す⁠。セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）の吸着の種類はジョンセン・ラーベック力型、クーロン力型、材質は耐プラズマ性のセラミック素材です。NGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。

セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）の吸着の種類はジョンセン・ラーベック力型、クーロン力型です。NGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロンです。

温度を細かく管理する最先端の工程ならセラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）、ウェハーの固定・反りの矯正・冷却なら京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）で⁠す⁠。セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）の吸着の種類はジョンセン・ラーベック力型、クーロン力型、材質は耐プラズマ性のセラミック素材です。京セラのセラミック静電チャック（アルミナ・窒化アルミ）の材質はアルミナ、窒化アルミ、大きさは直径200・300mmの装置用です。

セラミック静電チャック（JR力型・クーロン力型）はTOTO株式会社の製品です。登記上の本店は〒802-0076 福岡県北九州市小倉北区中島2丁目1番1号。TOTOの主な製品分野はセラミック静電チャック・洗面ボウル・防水パン・排水トラップです。