セラミック静電チャックのメーカー5社比較【2026年】

表の5製品は、どれも値段を公式に出していません。装置・ウエハーの大きさ・ヒーターの有無に合わせて作る品なので、各社に見積もりを頼みます。新光電気は、焼成から検査までの一貫生産で価格と納期を抑えると書いています。

JR力型は低い電圧で強く吸着し、クーロン力型は吸着の応答時間が温度によらず一定です。NGKは窒化アルミでジョンソン・ラーベック型、アルミナでクーロン型を作り分けています。工程の温度と電圧の条件を伝えて、各社に相談してください。

NGKの窒化アルミは-50〜700℃で使えます。新光電気は-20〜200℃、住友大阪セメントのSUMICEFINEは室温〜200℃です。高温の工程なら、窒化アルミでヒーターと一体の型を選びます。工程の温度の上限を先に伝えてください。

京セラとNGKは、アルミナと窒化アルミの両方で作ります。NGKは窒化アルミでジョンソン・ラーベック型、アルミナでクーロン型です。窒化アルミの静電チャックは-50〜700℃に使え、ヒーターと一体にできます。工程の温度で、材質を先に決めてください。

吸着力の数字を公式に出しているのは住友大阪セメントで、SUMICEFINEはドットなしで2500gf/cm²超です。吸着と離脱は2秒以内です。吸着力は電圧・材質・ワークで変わるので、ほかの会社は実際のワークで確かめてください。

NGKは200mm・300mm・450mm、京セラは直径200mmと300mmの装置用です。新光電気は最大直径300mm、TOTOは450mmまで作れます。どれも装置に合わせて作るので、装置とウエハーの大きさを伝えて見積もりを頼んでください。

NGKは発熱体を埋め込んでヒーターと一体にでき、ウエハー表面の温度を±1%以下にそろえます。TOTOは、セラミック・ヒーター・冷却ジャケットをまとめて請け負います。温度の管理が細かい工程なら、ヒーターと冷却まで一緒に相談してください。

住友大阪セメントのSUMICEFINEは、高純度の材料でウエハーの金属汚染とパーティクルを抑えます。フロン系・酸素系のプラズマにも強く、吸着面は平面度2μm、表面粗さ0.01μmに仕上げます。汚染を嫌う工程なら、住友大阪セメントに相談してください。

新光電気は、表面の溝加工・エンボス加工と、表面粗さの調整をします。直径300mmまで、板厚0.8〜10.0mmで作ります。ガスを流す溝や接触面積の条件があるなら、図面で伝えて相談してください。

京セラは、セラミック静電チャックをウェハーの固定だけでなく、反りの矯正や冷却にも使うとしています。厚くて反ったワークは吸着しにくいので、ウエハーの厚みと反りの大きさを伝えて確かめてください。