静電チャックのメーカー5社比較【2026年】

このページの8製品は、どれも値段を公式に出していません。装置・ウエハーの大きさ・ヒーターの有無に合わせて作る品なので、各社に見積もりを頼みます。新光電気は、焼成から検査までの一貫生産で価格と納期を抑えると書いています。

作りで3つに分かれます。セラミックの中に電極を入れて装置に組み込む型、樹脂や接着シートで作る型、電源とセットのステージやウエハーを運ぶキャリアの型です。このページでは、セラミック型にNGK・京セラ・新光電気・住友大阪セメント・TOTOの5社を載せています。

クーロン力型は絶縁材料を誘電体に使い、吸着の応答時間が温度によらず一定です。ジョンソン・ラーベック力型は、ワークとの間のすき間に小さな電流を流して吸着し、低い電圧で強く吸着します。NGKは窒化アルミでジョンソン・ラーベック型、アルミナでクーロン型を作り分けています。

セラミック型は、プラズマや熱に強く、ヒーターと一体にできます。NGKの窒化アルミは-50〜700℃で使えます。樹脂型の巴川コーポレーションのエレファンTADは、自社の高絶縁性の接着シートで作り、ドライエッチング・CVDのほか液晶・有機ELの真空貼り合わせ装置にも使います。

NGKのセラミック静電チャックは-50〜700℃です。新光電気は-20〜200℃、住友大阪セメントのSUMICEFINEは室温〜200℃です。高温の工程なら、窒化アルミでヒーターと一体の型を選びます。

吸着力の数字を公式に出しているのは住友大阪セメントで、SUMICEFINEはドットなしで2500gf/cm²超です。吸着と離脱は2秒以内です。吸着力は電圧・材質・ワークで変わるので、ほかの会社は実際のワークで確かめます。

NGKは200mm・300mm・450mm、京セラは直径200mmと300mmの装置用です。新光電気は最大直径300mm、TOTOは450mmまで作れます。どれも装置に合わせて作るので、装置とウエハーの大きさを伝えて見積もりを頼んでください。

真空チャックは空気を吸って押さえるので、真空の装置の中では使えません。静電チャックは真空の中でも吸着でき、面で均一に吸着するので、薄いワークに吸着痕やしわが付きにくいです。穴の空いた多孔質の素材も吸着できます。

吸着できる品があります。筑波精工のESCステージは、ガラス・フィルム・Si・金属箔・紙・セラミックを吸着します。巴川コーポレーションのエレファンTADも、金属・フィルム・ガラスの保持に使います。吸着したいワークの材質と厚みを伝えて、各社に確かめてください。

濡れたワークと、厚くて反ったワークは吸着しにくいです。筑波精工は、この2つを不得意な分野として挙げています。薄く反ったウエハーなら、吸着して平らにしたまま加工できます。ワークが濡れる工程なら、乾かしてから載せる順に組んでください。

一般の静電チャックは給電ユニットをつないだまま吸着します。筑波精工のSupporterは、給電ユニットを外しても吸着が続くキャリア型です。外すときは、もう一度給電ユニットで電界を解きます。極薄ウエハーを貼ったまま工程に流したいなら、Supporterを見てください。

樹脂型では、巴川コーポレーションが、エレファンTADは世界でトップレベルのシェアだと公式サイトに書いています。国内外の装置メーカーへ20年以上OEMで納めています。セラミック型を含めた全体のシェアを公に示した資料は、このページでは確かめていません。