静電キャリア Supporter

静電キャリア Supporterは、極薄ウエハーを貼ったまま工程に流す人向けです。静電キャリア Supporterは、給電ユニットを外しても吸着が続く、キャリア型の静電チャックです。

静電キャリア Supporterは、薄いウエハーを貼り付けたまま工程を流せ、反ったウエハーの矯正にも使えます。外周補強のための専用設備がなくても、今の設備で薄いウエハーを加工できます。

静電キャリア Supporterの吸着の種類はクーロン力、吸着できるものはSi、SiC、GaN、GaAs、ガラスです。使う装置・工程はイオン注入、レーザーアニール、成膜、エッチング、露光、特長は給電ユニットを外しても吸着を保つ。

極薄ウエハーを貼ったまま工程に流すなら静電キャリア Supporter、装置メーカーが組み込む樹脂の静電チャックなら巴川コーポレーションの静電チャック エレファンTADです。静電キャリア Supporterの吸着の種類はクーロン力、吸着できるものはSi、SiC、GaN、GaAs、ガラスです。巴川コーポレーションの静電チャック エレファンTADの吸着の種類はクーロン力、材質は高絶縁性の接着剤（自社の接着シート）⁠で⁠す⁠。

静電キャリア Supporterの吸着の種類はクーロン力です。巴川コーポレーションの静電チャック エレファンTADの吸着の種類はクーロン力です。

極薄ウエハーを貼ったまま工程に流すなら静電キャリア Supporter、高温のCVD・エッチング装置ならNGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）で⁠す⁠。静電キャリア Supporterの吸着の種類はクーロン力、吸着できるものはSi、SiC、GaN、GaAs、ガラスです。NGKのセラミック静電チャック（窒化アルミ・アルミナ）の吸着の種類はジョンソン・ラーベック、クーロン、材質は窒化アルミ（AlN）、アルミナ（Al2O3）⁠で⁠す⁠。

あります。筑波精工の静電チャックには、静電キャリア Supporterのほかに静電吸着ステージ ESCステージ（吸着の種類はクーロン力）があります。

静電キャリア Supporterは筑波精工株式会社の製品です。登記上の本店は〒329-0617 栃木県河内郡上三川町大字上蒲生字願成寺2168番地10。筑波精工の主な製品分野は静電チャックです。