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三塩化ホウ素高純度ガス（ボンベ）

高純度三塩化ホウ素（BCl3）

株式会社レゾナック

川崎で作る純度5Nの半導体エッチング用BCl3。

価格
公開価格なし（見積もり）
主な仕様
純度・濃度5N
形態
高純度ガス（ボンベ）
向いている所
メタルのエッチングに量を使うライン
カタログ
あり（PDF）
公式の製品ページを見るカタログ（PDF）比較表で見る

比較表での位置

高純度三塩化ホウ素（BCl3）は、三塩化ホウ素のメーカー5社比較⁠の形態「高純度ガス（ボンベ）」の4製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 5製品比較表の製品
  • 4製品同じ形態
  • 1製品公開価格あり
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高純度三塩化ホウ素（BCl3）​の強みと方式

容器ごとの充填量と弁の規格まで公式資料に載っていて、受け入れ設備を先に決められます。10L容器は10kg、47L容器は50kgで、弁はW26mmです。最先端ロジック半導体のゲートエッチングにも使われています。

向いている所メタルのエッチングに量を使うライン

形態：高純度ガス（ボンベ）

液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。純度は5Nから99.9999wt%以上まで公式に出ています。毒物なので、受け入れの設備と保管のしかたを先に決めます。

高純度三塩化ホウ素（BCl3）​の仕様

形態
高純度ガス（ボンベ）
形態
液化ガス
純度・濃度
5N
容器
10L、47L
充填量・容量
10kg、50kg
価格
—公式資料で確認できず
容器弁
W26mm 14山 右ネジ
製造場所
川崎
法規制
毒物
用途
エッチング
販売の状況
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

高純度三塩化ホウ素（BCl3）株式会社レゾナック三塩化ホウ素 R高千穂化学工業株式会社三塩化ホウ素 BCl3日本酸素株式会社
形態高純度ガス（ボンベ）高純度ガス（ボンベ）高純度ガス（ボンベ）
形態液化ガス低圧液化ガス—公式資料で確認できず
純度・濃度5N99.999%99.9999wt%⁠⁠⁠⁠⁠⁠以上
容器10L、47L—公式資料で確認できず47L、10L、3.4L
充填量・容量10kg、50kg—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
容器弁W26mm 14山 右ネジ22mm、PF1/4—公式資料で確認できず
製造場所川崎—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
法規制毒物医薬用外毒物—公式資料で確認できず
用途エッチング化学物質の製造原料用等CVD、ドライエッチング
販売の状況—公式資料で確認できず販売中か未確認—公式資料で確認できず

三塩化ホウ素の5製品を比較表で見る

高純度三塩化ホウ素（BCl3）​のよくある質問

Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）はどんな人に向いている？
高純度三塩化ホウ素（BCl3）は、メタルのエッチングに量を使うラインに使う人向けです。高純度三塩化ホウ素（BCl3）は、容器ごとの充填量と弁の規格まで公式資料に載っていて、受け入れ設備を先に決められます。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）の強みは？
高純度三塩化ホウ素（BCl3）の10L容器は10kg、47L容器は50kgで、弁はW26mmです。最先端ロジック半導体のゲートエッチングにも使われています。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）はどんな方式？
高純度三塩化ホウ素（BCl3）の形態は高純度ガス（ボンベ）⁠で⁠す⁠。液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）の主な仕様は？
高純度三塩化ホウ素（BCl3）の純度・濃度は5N、形態は液化ガスです。容器は10L、47L、充填量・容量は10kg、50kgです。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）と三塩化ホウ素 Rはどっちがいい？
メタルのエッチングに量を使うラインなら高純度三塩化ホウ素（BCl3）、研究用のグレードRを探している現場なら高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rです。高純度三塩化ホウ素（BCl3）の純度・濃度は5N、形態は液化ガスです。高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rの純度・濃度は99.999%、形態は低圧液化ガスです。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）の容器弁は？
高純度三塩化ホウ素（BCl3）の容器弁はW26mm 14山 右ネジです。高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rの容器弁は22mm、PF1/4です。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）の法規制は？
高純度三塩化ホウ素（BCl3）の法規制は毒物です。高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rの法規制は医薬用外毒物です。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）の用途は？
高純度三塩化ホウ素（BCl3）の用途はエッチングです。高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rの用途は化学物質の製造原料用等です。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）と三塩化ホウ素 BCl3はどっちがいい？
メタルのエッチングに量を使うラインなら高純度三塩化ホウ素（BCl3）、小さい容器から試したい半導体の工程なら日本酸素の三塩化ホウ素 BCl3です。高純度三塩化ホウ素（BCl3）の純度・濃度は5N、形態は液化ガスです。日本酸素の三塩化ホウ素 BCl3の純度・濃度は99.9999wt%以上、容器は47L、10L、3.4Lです。
Q.高純度三塩化ホウ素（BCl3）はどこのメーカー？
高純度三塩化ホウ素（BCl3）は株式会社レゾナックの製品です。登記上の本店は〒105-0021 東京都港区東新橋1丁目9番1号。レゾナックの主な製品分野はアクリロニトリル・三塩化ホウ素・アルミナ・半導体材料です。

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    半導体製造用ガスの一覧にResearchグレードとして載り、純度は99.999%です。

    純度・濃度99.999%

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    三塩化ホウ素

    三塩化ホウ素 BCl3

    日本酸素株式会社

    公式に出ている純度が99.9999wt%以上と、この表で一番細かい桁まで書かれています。

    純度・濃度99.9999wt%以上

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    三塩化ホウ素

    三塩化ホウ素

    ＵＢＥ株式会社

    日本で初めて三塩化ホウ素を国産化した会社の製品で、アルミニウム配線のドライエッチング用です。

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    出典
    1. 株式会社レゾナック 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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