三塩化ホウ素高純度ガス（ボンベ）

三塩化ホウ素 BCl3

Q: 三塩化ホウ素 BCl3はどんな方式？

三塩化ホウ素 BCl3の形態は高純度ガス（ボンベ）です。液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。

日本酸素株式会社

純度99.9999wt%以上、3.4Lから47Lの容器がある半導体材料ガス。

価格: 公開価格なし（見積もり）
主な仕様: 純度・濃度99.9999wt%以上
形態: 高純度ガス（ボンベ）
向いている所: 小さい容器から試したい半導体の工程

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比較表での位置

三塩化ホウ素 BCl3は、三塩化ホウ素のメーカー5社比較⁠の形態「高純度ガス（ボンベ）」の4製品の1つとして載っています。

5社掲載社数
5製品比較表の製品
4製品同じ形態
1製品公開価格あり

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三塩化ホウ素 BCl3の強みと方式

公式に出ている純度が99.9999wt%以上と、この表で一番細かい桁まで書かれています。容器は47L・10Lに加えて3.4Lがあり、少ない量から使えます。分類はCVDとドライエッチングの両方に入っています。

向いている所小さい容器から試したい半導体の工程

形態：高純度ガス（ボンベ）

液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。純度は5Nから99.9999wt%以上まで公式に出ています。毒物なので、受け入れの設備と保管のしかたを先に決めます。

三塩化ホウ素 BCl3の仕様

形態: 高純度ガス（ボンベ）
形態: —公式資料で確認できず
純度・濃度: 99.9999wt%⁠⁠⁠以上
容器: 47L、10L、3.4L
充填量・容量: —公式資料で確認できず
価格: —公式資料で確認できず
容器弁: —公式資料で確認できず
製造場所: —公式資料で確認できず
法規制: —公式資料で確認できず
用途: CVD、ドライエッチング
販売の状況: —公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

	三塩化ホウ素 BCl3日本酸素株式会社	三塩化ホウ素ＵＢＥ株式会社	高純度三塩化ホウ素（BCl3）株式会社レゾナック
形態	高純度ガス（ボンベ）	高純度ガス（ボンベ）	高純度ガス（ボンベ）
形態	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	液化ガス
純度・濃度	99.9999wt%⁠⁠⁠⁠⁠⁠以上	高純度品（数値の記載なし）	5N
容器	47L、10L、3.4L	—公式資料で確認できず	10L、47L
充填量・容量	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	10kg、50kg
価格	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
容器弁	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	W26mm 14山右ネジ
製造場所	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	川崎
法規制	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	毒物
用途	CVD、ドライエッチング	アルミニウム配線のドライエッチング	エッチング
販売の状況	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず

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三塩化ホウ素 BCl3のよくある質問

Q.三塩化ホウ素 BCl3はどんな人に向いている？

三塩化ホウ素 BCl3は、小さい容器から試したい半導体の工程に使う人向けです。三塩化ホウ素 BCl3は、公式に出ている純度が99.9999wt%以上と、この表で一番細かい桁まで書かれています。

Q.三塩化ホウ素 BCl3の強みは？

三塩化ホウ素 BCl3の容器は47L・10Lに加えて3.4Lがあり、少ない量から使えます。分類はCVDとドライエッチングの両方に入っています。

Q.三塩化ホウ素 BCl3はどんな方式？

三塩化ホウ素 BCl3の形態は高純度ガス（ボンベ）⁠で⁠す⁠。液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。

Q.三塩化ホウ素 BCl3の主な仕様は？

三塩化ホウ素 BCl3の純度・濃度は99.9999wt%以上、容器は47L、10L、3.4Lです。用途はCVD、ドライエッチングです。

Q.三塩化ホウ素 BCl3と三塩化ホウ素はどっちがいい？

小さい容器から試したい半導体の工程なら三塩化ホウ素 BCl3、アルミ配線のドライエッチングならＵＢＥの三塩化ホウ素です。三塩化ホウ素 BCl3の純度・濃度は99.9999wt%以上、容器は47L、10L、3.4Lです。ＵＢＥの三塩化ホウ素の用途はアルミニウム配線のドライエッチングです。

Q.三塩化ホウ素 BCl3と高純度三塩化ホウ素（BCl3）はどっちがいい？

小さい容器から試したい半導体の工程なら三塩化ホウ素 BCl3、メタルのエッチングに量を使うラインならレゾナックの高純度三塩化ホウ素（BCl3）⁠で⁠す⁠。三塩化ホウ素 BCl3の純度・濃度は99.9999wt%以上、容器は47L、10L、3.4Lです。レゾナックの高純度三塩化ホウ素（BCl3）の純度・濃度は5N、形態は液化ガスです。

Q.三塩化ホウ素 BCl3はどこのメーカー？

三塩化ホウ素 BCl3は日本酸素株式会社の製品です。日本酸素の主な製品分野は高圧ガス・アルゴンガス・三塩化ホウ素・塩素です。