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CARBON-MONOXIDE / MZ-35323

一酸化炭素 99.995%日本酸素株式会社

日本酸素の半導体材料ガス（高純度ガス）の一酸化炭素です。

2026年10月29日確認

仕様

向いている所：半導体のエッチング・クリーニング

ガスの区分
高純度品（純度を出す単体ガス）
純度
>99.995%
不純物
—公式資料で確認できず
容器・⁠⁠⁠供給
48L、9.4L
充填圧力
—公式資料で確認できず
濃度範囲
混合ガスは1ppm〜50%
価格
—公式資料で確認できず
ベースガス
—公式資料で確認できず
容器弁
—公式資料で確認できず
用途
半導体のドライエッチング、クリーニング
濃度の精度
—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

不純物の上限は製品ページに無く、カタログ（ダウンロード）で確かめます。

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出典（2026年10月29日確認）

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