高純度塩素 Cl₂ 99.999wt%以上 10L日本酸素株式会社

仕様

向いている所：半導体・液晶のエッチング

用途・グレード: 半導体用の高純度塩素
ガス組成: Cl₂
純度・含有量: 99.999wt%⁠⁠⁠以上
不純物の上限: —公式資料で確認できず
充填圧力: —公式資料で確認できず
容器内容積: 10L
充填質量: —公式資料で確認できず
価格: —公式資料で確認できず
供給形態: —公式資料で確認できず
品質規格: —公式資料で確認できず
用途: 半導体・液晶のエッチング
供給の期限: —公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

型式がないため組成・純度・代表容器10Lで識別しています。10Lは容器サイズで、充填量や充填圧力ではありません。混合製品の製造可能濃度は、この単成分製品の仕様には混ぜていません。

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出典（2026年10月28日確認）

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