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CHLORINE / MZ-30145

高純度液化塩素 アデカ 99.999%⁠⁠⁠以上株式会社ADEKA

エッチング用に純度99.999%以上の液化塩素を案内しています。

2026年10月28日確認

仕様

向いている所:半導体のエッチング工程

用途・グレード
半導体用の高純度塩素
ガス組成
Cl₂
純度・含有量
99.999%⁠⁠⁠以上
不純物の上限
—公式資料で確認できず
充填圧力
—公式資料で確認できず
容器内容積
—公式資料で確認できず
充填質量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
供給形態
—公式資料で確認できず
品質規格
—公式資料で確認できず
用途
エッチングガス
供給の期限
2027年12月19日出荷分で販売終了予定

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

型式がないため商品名と公開純度で識別しています。最終販売日は2027年12月19日出荷分、容器返却期限は2028年12月22日です。販売終了は、ADEKAのお知らせで告知されています。純度の質量基準・体積基準は製品表に記載がありません。

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出典(2026年10月28日確認)

  1. 株式会社ADEKA ⁠⁠⁠公式
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