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SILANE / MZ-29982

モノシラン >99.9995%・47L日本酸素株式会社

モノシランの単体ガスを47L容器の仕様で掲載。

2026年10月28日確認

仕様

向いている所：シリコン膜・酸化膜の成膜

ガス種
モノシラン（SiH₄）
ガス組成
SiH₄
純度・含有量
>99.9995%
主な不純物
—公式資料で確認できず
充填圧力
—公式資料で確認できず
容器内容積
47L
充填質量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
容器弁
—公式資料で確認できず
用途
半導体CVD、太陽電池CVD
数値の資料・⁠⁠⁠条件
—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

充填圧力・不純物ごとの上限・充填質量は公開ページに記載なし。混合製品の製造可能濃度は、この単体製品の純度ではありません。

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出典（2026年10月28日確認）

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