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SILANE / MZ-29980

モノシラン 99.9999%・47L・10kgSK specialty Japan株式会社

水素を除く純度を示したモノシランの47L・10kg仕様。

2026年10月28日確認

仕様

向いている所:半導体・ディスプレイの成膜

ガス種
モノシラン(SiH₄)
ガス組成
SiH₄
純度・含有量
99.9999%(H₂を除く)
主な不純物
O₂+Ar 1.0ppmv、N₂ 1.0ppmv
充填圧力
—公式資料で確認できず
容器内容積
47L
充填質量
10kg
価格
—公式資料で確認できず
容器弁
—公式資料で確認できず
用途
半導体・ディスプレイ⁠・太陽電池の膜形成
数値の資料・⁠⁠⁠条件
親会社の日本語製品仕様

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

純度は水素を除いて計算。公式表の水分欄はPC用と携帯用の表で値が異なるため掲載していません。発注時は水分を含む不純物規格と日本向け容器弁を確認します。国内供給の根拠は日本法人の事業紹介、数値は親会社の日本語資料です。

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