SILANE / MZ-29980モノシラン 99.9999%・
モノシラン 99.9999%・47L・10kgSK specialty Japan株式会社
水素を
仕様
向いている
- ガス種
- モノシラン
(SiH₄) - ガス組成
- SiH₄
- 純度・含有量
- 99.9999%
(H₂を除く) - 主な不純物
- O₂+Ar 1.0ppmv、
N₂ 1.0ppmv - 充填圧力
- —公式資料で
確認できず - 容器内容積
- 47L
- 充填質量
- 10kg
- 価格
- —公式資料で
確認できず - 容器弁
- —公式資料で
確認できず - 用途
- 半導体・
ディスプレイ・ 太陽電池の膜形成 - 数値の
資料・条件 - 親会社の
日本語製品仕様
— は
純度は
口コミ
モノシラン 99.9999%・
使った
運営が
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出典
