シランのメーカー4社比較【2026年】

掲載仕様の価格は、確認した公式資料に記載がありません。日本酸素の47L仕様など、同じガス種・純度・容器条件で見積もりを取り、ガス代・容器貸与・配送条件を分けて確認します。

モノシランはSiH₄、ジシランはSi₂H₆で、ガス種が異なります。三井化学はモノシランをシリコン膜・酸化膜の形成用、ジシランを低温・高速のシリコン成膜用として案内しています。

薄膜を作るCVD工程の原料として使います。三井化学のモノシランは半導体・液晶・太陽電池向けで、シリコン膜とシリコン酸化膜を形成します。

純度に含める成分の条件をそろえます。SK specialtyのモノシランは99.9999%ですが、水素を除いた表記なので、日本酸素の>99.9995%と数字だけで優劣を決めません。

工程が管理する不純物を個別に確認します。SKのモノシランはO₂+Arが1.0ppmv、N₂が1.0ppmvの仕様表記がありますが、水分欄は重複表で異なるため、この比較では数値を載せていません。

内容積と充填質量は別の値です。SKのモノシランは47L容器に10kgまたは12kgの仕様があり、この比較では10kg仕様を載せています。

日本酸素のモノシランは製造可能濃度1ppm〜50%、ジシランは10ppm〜30%です。これは固定製品の組成ではないため、必要濃度・希釈ガス・容器条件を伝えて仕様を確定します。

製品の充填圧力と温度条件を確認します。日本酸素のモノシラン47L仕様は公開ページに充填圧力がなく、ガスの蒸気圧や容器の耐圧を充填圧力として使えません。

Rは高千穂化学工業のグレード表示で、モノシランは99.999%、ジシランは99.99%です。三井化学のGPSは安全性要約書で、記載の含有量は現在の品質保証規格ではありません。

三井化学のモノシランの案内には自然発火性があり、空気に触れるだけで発火すると記載されています。同社のGPS安全性要約書には、吸入すると有害と記載されています。購入する仕様の最新SDSを入手し、設備と容器交換の手順を供給元・保安担当と確認します。

この比較はSiH₄・Si₂H₆を主成分とする成膜原料ガスです。シランカップリング剤、クロロシラン、有機シラン、水溶液は対象から分け、名称だけで注文しないようにします。