シランとは？半導体用モノシラン・ジシランの違いと、純度・混合濃度・容器の選び方

シランとは

このページでは、シランを成膜用のモノシランとジシランに絞って扱います。接着や表面処理に使うシランカップリング剤、クロロシラン、有機シラン、薬品の水溶液は含めません。

メーカー比較には、自社または自社グループで製造・精製する会社の製品を、ガス種・グレード・資料上の含有量と代表の容器条件で載せています。一般の溶接・熱処理・分析用ガスは高圧ガスの比較⁠で確認できます。

モノシランとジシランの化学式・用途の違い

• モノシランの化学式は、SiH₄です。三井化学は半導体・液晶・太陽電池のシリコン膜・シリコン酸化膜形成用CVDガスとして案内しています
• ジシランの化学式は、Si₂H₆です。三井化学は低温・高速でシリコン膜を形成する工程用として案内しています
• ガス種を変えるときは、純度の数字だけで置き換えず、装置と成膜条件から確認します

用途の出典は、三井化学のモノシラン・ジシランの公式製品案内です。

純度と不純物の読み方

• 日本酸素のモノシランは、純度>99.9995%です。掲載した代表容器は47Lです
• 高千穂化学工業のモノシランRは、Researchグレードで純度99.999%です。ジシランRは99.99%です
• SK specialtyのモノシランは、99.9999%と記載し、水素を計算から除いています。除外する成分が違う純度を、そのまま順位にしないでください
• SKの仕様表には、O₂+Arが1.0ppmv、N₂が1.0ppmvとあります。水分欄は同じページの重複表で値が異なるため転載せず、発注時に確認します

出典は、日本酸素・高千穂化学工業・SK specialtyの日本語製品仕様です。工程が管理する不純物の上限を、見積書と仕様書でそろえます。

含有量の出典は、三井化学のシランのGPS資料・ジシランのGPS資料です。

混合ガスの選び方

• 日本酸素は、モノシランの混合製品について製造可能濃度1ppm〜50%と案内しています
• ジシランの混合製品については、製造可能濃度10ppm〜30%です
• これらは作れる濃度の範囲で、固定した製品の組成ではありません。ガス種・必要濃度・希釈ガス・不純物規格を指定してから、圧力・容器・弁を確認します
• 混合後の濃度と、原料ガスの純度は別の項目です。高千穂化学工業も、混合ガスの濃度・充填圧力・容器サイズ・バルブ種類を問い合わせるよう案内しています

出典は日本酸素のモノシラン・ジシラン、高千穂化学工業の混合ガスです。固定組成の仕様を確かめられなかったため、比較表に混合ガスの製品行は設けていません。

容器容量・充填量・⁠⁠⁠価格

• 日本酸素のジシランは、47Lと10Lの容器を案内しています。比較表には47Lを代表仕様として載せています
• SKのモノシランは、47L容器に10kgまたは12kgを充填する仕様があります。比較表は10kg仕様で、Lは容器内容積、kgはガスの質量です
• 充填圧力は、ガスの蒸気圧や容器の耐圧とは別です。公開資料にない圧力は推定せず、注文する仕様の温度条件と一緒に確認します
• 掲載仕様の公開価格は確認できませんでした。同じガス種・品質・容器条件で見積もりを取り、容器貸与・配送・交換の条件も確認します

シランの毒性・自然発火性と取扱い

三井化学の製品案内は、モノシランとジシランに自然発火性があることを示しています。三井化学のシランのGPS資料には、吸入すると有害と記載されています。購買時は最新SDSを入手し、供給元と保安担当が設備・容器弁・容器交換手順を確認します。比較表の純度や容量だけで取扱条件を決めないでください。

仕様・用途の確認日は2026年10月28日です。日本酸素は現行公式サイトの社名で表記しています。