{
 "title": "シランのメーカー比較",
 "source": "https://makerzukan.jp/c/zairyo/silane/",
 "publisher": "メーカー図鑑",
 "license": "出典（メーカー図鑑・URL）を明記すれば引用可",
 "updated": "2026-10-28",
 "definition": "シランは、半導体などの製造工程で、シリコンを含む薄膜の原料に使うガスです。",
 "findings": [
  "値段を出しているメーカーは4社中1社もありません。どれも寸法を伝えて見積もりを取ります。",
  "ガス種ごとの製品数は、モノシラン（SiH₄） 4・ジシラン（Si₂H₆） 3です。",
  "主な不純物を公式資料に書いている製品は、7製品中1製品だけでした。",
  "充填圧力を公式資料に書いている製品は、7製品中0製品だけでした。",
  "充填質量を公式資料に書いている製品は、7製品中1製品だけでした。",
  "純度または資料上の含有量を記載しているのは7製品中7製品です。",
  "容器内容積を公式資料に書いているのは3製品です。",
  "充填質量を公式資料で確認できたのは1製品です。"
 ],
 "types": [
  {
   "key": "silane-mono",
   "name": "モノシラン（SiH₄）",
   "how": "シリコン膜やシリコン酸化膜を形成するCVD用のガスです。半導体・液晶・太陽電池などで使われ、純度の計算から水素を除く製品はその条件も確認します。",
   "scenes": [
    "半導体のシリコン膜形成",
    "液晶・太陽電池の成膜",
    "装置がモノシランを指定する工程"
   ]
  },
  {
   "key": "silane-di",
   "name": "ジシラン（Si₂H₆）",
   "how": "低温・高速でシリコン膜を形成する工程向けのガスです。モノシランと名前が似ていますが、同じ純度でも別の原料として工程条件を確認します。",
   "scenes": [
    "低温のシリコン成膜",
    "高速成膜のプロセス開発",
    "装置がジシランを指定する工程"
   ]
  }
 ],
 "columns": [
  "図鑑番号",
  "製品名",
  "メーカー",
  "ガス種",
  "向いている所",
  "ガス組成",
  "純度・含有量",
  "主な不純物",
  "充填圧力",
  "容器内容積",
  "充填質量",
  "価格",
  "容器弁",
  "用途",
  "数値の資料・条件",
  "公式ページ",
  "カタログ",
  "出典",
  "確認日"
 ],
 "rows": [
  [
   "MZ-29980",
   "モノシラン 99.9999%・47L・10kg",
   "SK specialty Japan株式会社",
   "モノシラン（SiH₄）",
   "半導体・ディスプレイの成膜",
   "SiH₄",
   "99.9999%（H₂を除く）",
   "O₂+Ar 1.0ppmv、N₂ 1.0ppmv",
   "記載なし",
   "47L",
   "10kg",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "半導体・ディスプレイ・太陽電池の膜形成",
   "親会社の日本語製品仕様",
   "https://www.skspecialty.com/new/jpn/html/products/sih4.asp",
   "記載なし",
   "https://www.skspecialty.com/new/jpn/html/products/sih4.asp",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-29984",
   "ジシラン R（Research）",
   "高千穂化学工業株式会社",
   "ジシラン（Si₂H₆）",
   "純度を指定する半導体材料",
   "Si₂H₆",
   "99.99%",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "22mm左",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "https://www.takachiho.biz/gases/SemiconductorGases_8.html",
   "記載なし",
   "https://www.takachiho.biz/gases/SemiconductorGases_8.html",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-29981",
   "モノシラン R（Research）",
   "高千穂化学工業株式会社",
   "モノシラン（SiH₄）",
   "純度を指定する半導体材料",
   "SiH₄",
   "99.999%",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "22mm左",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "https://www.takachiho.biz/gases/SemiconductorGases_8.html",
   "記載なし",
   "https://www.takachiho.biz/gases/SemiconductorGases_8.html",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-29985",
   "ジシラン >99.99%・47L",
   "日本酸素株式会社",
   "ジシラン（Si₂H₆）",
   "ジシランを指定したCVD工程",
   "Si₂H₆",
   ">99.99%",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "47L",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "半導体CVD",
   "記載なし",
   "https://nsc.jp.nipponsanso.com/denzaigas/product/detail.html?pdid1=7",
   "記載なし",
   "https://nsc.jp.nipponsanso.com/denzaigas/product/detail.html?pdid1=7",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-29982",
   "モノシラン >99.9995%・47L",
   "日本酸素株式会社",
   "モノシラン（SiH₄）",
   "シリコン膜・酸化膜の成膜",
   "SiH₄",
   ">99.9995%",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "47L",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "半導体CVD、太陽電池CVD",
   "記載なし",
   "https://nsc.jp.nipponsanso.com/denzaigas/product/detail.html?pdid1=208",
   "記載なし",
   "https://nsc.jp.nipponsanso.com/denzaigas/product/detail.html?pdid1=208",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-29986",
   "ジシラン 99.99%以上（GPS記載）",
   "三井化学株式会社",
   "ジシラン（Si₂H₆）",
   "低温・高速のシリコン成膜",
   "Si₂H₆",
   "含有量99.99%以上（GPS資料）",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "低温・高速成膜用CVD",
   "2014年作成GPSの含有量、品質保証値ではない",
   "https://jp.mitsuichemicals.com/jp/service/product/disilane/index.htm",
   "https://jp.mitsuichemicals.com/en/ps/pdf/1590-87-0j.pdf",
   "https://jp.mitsuichemicals.com/jp/service/product/disilane/index.htm",
   "2026-10-28"
  ],
  [
   "MZ-29983",
   "モノシラン 99.999%以上（GPS記載）",
   "三井化学株式会社",
   "モノシラン（SiH₄）",
   "半導体・液晶のCVD成膜",
   "SiH₄",
   "含有量99.999%以上（GPS資料）",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "シリコン膜・シリコン酸化膜のCVD",
   "2014年作成GPSの含有量、品質保証値ではない",
   "https://jp.mitsuichemicals.com/jp/service/product/monosilane/index.htm",
   "https://jp.mitsuichemicals.com/en/ps/pdf/7803-62-5j.pdf",
   "https://jp.mitsuichemicals.com/jp/service/product/monosilane/index.htm",
   "2026-10-28"
  ]
 ],
 "logos": {
  "sk-specialty-japan": "https://makerzukan.jp/assets/logo/sk-specialty-japan.webp",
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