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SILANE / MZ-29983

モノシラン 99.999%以上（GPS記載）三井化学株式会社

モノシランの現行製品案内とGPS資料上の含有量を併記。

2026年10月28日確認

仕様

向いている所：半導体・液晶のCVD成膜

ガス種
モノシラン（SiH₄）
ガス組成
SiH₄
純度・含有量
含有量99.999%以上（GPS資料）
主な不純物
—公式資料で確認できず
充填圧力
—公式資料で確認できず
容器内容積
—公式資料で確認できず
充填質量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
容器弁
—公式資料で確認できず
用途
シリコン膜・シリコン酸化膜のCVD
数値の資料・⁠⁠⁠条件
2014年作成GPSの含有量、品質保証値ではない

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

含有量の根拠は2014年作成のGPS安全性要約書で、現在の品質保証規格ではありません。現行製品ページで取扱いを確認しました。容器容量・充填圧力・不純物規格・最新SDSは発注前に確認してください。

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出典（2026年10月28日確認）

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