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SILANE / MZ-29981

モノシラン R（Research）高千穂化学工業株式会社

モノシランのResearchグレード。

2026年10月28日確認

仕様

向いている所：純度を指定する半導体材料

ガス種
モノシラン（SiH₄）
ガス組成
SiH₄
純度・含有量
99.999%
主な不純物
—公式資料で確認できず
充填圧力
—公式資料で確認できず
容器内容積
—公式資料で確認できず
充填質量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
容器弁
22mm左
用途
—公式資料で確認できず
数値の資料・⁠⁠⁠条件
—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

Rはメーカーのグレード表示です。容器弁の接続寸法と容器内容積を混同しないでください。容器内容積・充填圧力・不純物別の上限は掲載ページに記載なし。

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出典（2026年10月28日確認）

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