三塩化ホウ素高純度ガス（ボンベ）

三塩化ホウ素 R

Q: 三塩化ホウ素 Rはどんな方式？

三塩化ホウ素 Rの形態は高純度ガス（ボンベ）です。液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。

高千穂化学工業株式会社

Researchグレード、純度99.999%の三塩化ホウ素。

価格: 公開価格なし（見積もり）
主な仕様: 純度・濃度99.999%
形態: 高純度ガス（ボンベ）
向いている所: 研究用のグレードRを探している現場
カタログ: あり（PDF）

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比較表での位置

三塩化ホウ素 Rは、三塩化ホウ素のメーカー5社比較⁠の形態「高純度ガス（ボンベ）」の4製品の1つとして載っています。

5社掲載社数
5製品比較表の製品
4製品同じ形態
1製品公開価格あり

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三塩化ホウ素 Rの強みと方式

半導体製造用ガスの一覧にResearchグレードとして載り、純度は99.999%です。容器バルブは22mmとPF1/4の記載があります。公式の資料に新しい日付が無いので、販売中かどうかは問い合わせで確かめます。

向いている所研究用のグレードRを探している現場

形態：高純度ガス（ボンベ）

液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。純度は5Nから99.9999wt%以上まで公式に出ています。毒物なので、受け入れの設備と保管のしかたを先に決めます。

三塩化ホウ素 Rの仕様

形態: 高純度ガス（ボンベ）
形態: 低圧液化ガス
純度・濃度: 99.999%
容器: —公式資料で確認できず
充填量・容量: —公式資料で確認できず
価格: —公式資料で確認できず
容器弁: 22mm、PF1/4
製造場所: —公式資料で確認できず
法規制: 医薬用外毒物
用途: 化学物質の製造原料用等
販売の状況: 販売中か未確認

公式の一覧に掲載。SDSは2016年版で、販売中かは未確認。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

	三塩化ホウ素 R高千穂化学工業株式会社	三塩化ホウ素 BCl3日本酸素株式会社	三塩化ホウ素ＵＢＥ株式会社
形態	高純度ガス（ボンベ）	高純度ガス（ボンベ）	高純度ガス（ボンベ）
形態	低圧液化ガス	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
純度・濃度	99.999%	99.9999wt%⁠⁠⁠⁠⁠⁠以上	高純度品（数値の記載なし）
容器	—公式資料で確認できず	47L、10L、3.4L	—公式資料で確認できず
充填量・容量	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
価格	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
容器弁	22mm、PF1/4	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
製造場所	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
法規制	医薬用外毒物	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
用途	化学物質の製造原料用等	CVD、ドライエッチング	アルミニウム配線のドライエッチング
販売の状況	販売中か未確認	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず

三塩化ホウ素の5製品を比較表で見る

三塩化ホウ素 Rのよくある質問

Q.三塩化ホウ素 Rはどんな人に向いている？

三塩化ホウ素 Rは、研究用のグレードRを探している現場に使う人向けです。三塩化ホウ素 Rは、半導体製造用ガスの一覧にResearchグレードとして載り、純度は99.999%です。

Q.三塩化ホウ素 Rの強みは？

三塩化ホウ素 Rの容器バルブは22mmとPF1/4の記載があります。公式の資料に新しい日付が無いので、販売中かどうかは問い合わせで確かめます。

Q.三塩化ホウ素 Rはどんな方式？

三塩化ホウ素 Rの形態は高純度ガス（ボンベ）⁠で⁠す⁠。液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。

Q.三塩化ホウ素 Rの主な仕様は？

三塩化ホウ素 Rの純度・濃度は99.999%、形態は低圧液化ガスです。容器弁は22mm、PF1/4、法規制は医薬用外毒物です。

Q.三塩化ホウ素 Rと三塩化ホウ素 BCl3はどっちがいい？

研究用のグレードRを探している現場なら三塩化ホウ素 R、小さい容器から試したい半導体の工程なら日本酸素の三塩化ホウ素 BCl3です。三塩化ホウ素 Rの純度・濃度は99.999%、形態は低圧液化ガスです。日本酸素の三塩化ホウ素 BCl3の純度・濃度は99.9999wt%以上、容器は47L、10L、3.4Lです。

Q.三塩化ホウ素 Rの用途は？

三塩化ホウ素 Rの用途は化学物質の製造原料用等です。日本酸素の三塩化ホウ素 BCl3の用途はCVD、ドライエッチングです。

Q.三塩化ホウ素 Rと三塩化ホウ素はどっちがいい？