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三塩化ホウ素の強みと方式
日本で
向いている
形態：高純度ガス（ボンベ）
液化した
三塩化ホウ素の仕様
- 形態
- 高純度ガス（ボンベ）
- 形態
- —公式資料で
確認できず - 純度・濃度
- 高純度品
（数値の記載なし） - 容器
- —公式資料で
確認できず - 充填量・容量
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - 容器弁
- —公式資料で
確認できず - 製造場所
- —公式資料で
確認できず - 法規制
- —公式資料で
確認できず - 用途
- アルミニウム
配線の ドライエッチング - 販売の状況
- —公式資料で
確認できず
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| 三塩化ホウ素ＵＢＥ | 高純度三塩化ホウ素 | 三塩化ホウ素 R | |
|---|---|---|---|
| 形態 | 高純度ガス（ボンベ） | 高純度ガス（ボンベ） | 高純度ガス（ボンベ） |
| 形態 | —公式資料で | 液化ガス | 低圧液化ガス |
| 純度・濃度 | 高純度品 | 5N | 99.999% |
| 容器 | —公式資料で | 10L、 | —公式資料で |
| 充填量・容量 | —公式資料で | 10kg、 | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 容器弁 | —公式資料で | W26mm 14山 右ネジ | 22mm、 |
| 製造場所 | —公式資料で | 川崎 | —公式資料で |
| 法規制 | —公式資料で | 毒物 | 医薬用外毒物 |
| 用途 | アルミニウム | エッチング | 化学物質の |
| 販売の状況 | —公式資料で | —公式資料で | 販売中か |
三塩化ホウ素のよくある質問
Q.三塩化ホウ素はどんな人に向いている？
三塩化ホウ素は、アルミ配線のドライエッチングに使う人向けです。三塩化ホウ素は、日本で初めて三塩化ホウ素を国産化した会社の製品で、アルミニウム配線のドライエッチング用です。
Q.三塩化ホウ素の強みは？
三塩化ホウ素は、公式ページに純度と容器の数字は出ていません。仕様は機能品事業部に問い合わせて確かめます。
Q.三塩化ホウ素はどんな方式？
三塩化ホウ素の形態は高純度ガス（ボンベ）です。液化した三塩化ホウ素をボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置へ流します。
Q.三塩化ホウ素の主な仕様は？
三塩化ホウ素の用途はアルミニウム配線のドライエッチングです。
Q.三塩化ホウ素と高純度三塩化ホウ素（BCl3）はどっちがいい？
アルミ配線のドライエッチングなら三塩化ホウ素、メタルのエッチングに量を使うラインならレゾナックの高純度三塩化ホウ素（BCl3）です。三塩化ホウ素の用途はアルミニウム配線のドライエッチングです。レゾナックの高純度三塩化ホウ素（BCl3）の純度・濃度は5N、形態は液化ガスです。
Q.三塩化ホウ素と三塩化ホウ素 Rはどっちがいい？
アルミ配線のドライエッチングなら三塩化ホウ素、研究用のグレードRを探している現場なら高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rです。三塩化ホウ素の用途はアルミニウム配線のドライエッチングです。高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rの純度・濃度は99.999%、形態は低圧液化ガスです。
Q.三塩化ホウ素はどこのメーカー？
三塩化ホウ素はＵＢＥ株式会社の製品です。ＵＢＥの主な製品分野はアンモニア・三塩化ホウ素・カプロラクタム・カテコールです。
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