三塩化ホウ素のメーカー5社比較【2026年】

公式に値段が出ているのは、富士フイルム和光純薬の溶液029-13941の100mLで17,400円（税抜）⁠で⁠す⁠。高純度ガスは公式に値段が出ていないので、レゾナックや日本酸素に容器と量を伝えて見積もりをとります。

高純度ガスはボンベで受けて、エッチング装置やCVD装置に流します。溶液の試薬はジクロロメタンに溶かしたもので、用途は有機合成です。製造ラインならガス、研究室の少量の合成なら溶液です。

日本酸素の三塩化ホウ素 BCl3は99.9999wt%以上、レゾナックの高純度BCl3は5N、高千穂化学工業のRは99.999%です。UBEは高純度品と書いていますが、数字は公式ページに出ていません。

レゾナックは10L容器に10kg、47L容器に50kgです。日本酸素の容器は47L・10L・3.4Lの3つで、充填量は公式ページに出ていません。

レゾナックの弁はW26mm 14山 右ネジです。高千穂化学工業の一覧には22mmとPF1/4の記載があります。同じガスでも会社ごとに弁が違うので、配管側の規格と先に合わせます。

沸点は12.5℃で、20℃の蒸気圧は132kPaです。液化ガスとして容器に入っているので、充填量をkgで見ます。容器を加熱すると爆発のおそれがあるので、日光を避けて換気の良い場所にしまっておきます。

レゾナックは毒物、高千穂化学工業は医薬用外毒物と書いています。SDSでは吸入の急性毒性が区分3、皮膚腐食性が区分1A-1Cです。施錠して保管し、局所排気か全体換気を行います。

レゾナックはコンダクタのエッチング工程に使うガスと書いていて、メタルのエッチングに向いています。UBEはアルミニウム配線のドライエッチング用、日本酸素はCVDとドライエッチングの分類に入れています。

富士フイルム和光純薬の溶液は不活性ガスを封入していて、保存は冷所（25℃以下）⁠で⁠す⁠。水とアセトンで分解するので、湿気を入れないようにします。

高千穂化学工業のSDSは、棒状放水を使わないと書いています。危険でなければ火災区域から容器を移し、消火後は大量の水で容器を冷やします。詳しくは使う製品のSDSで確かめます。