三塩化ホウ素とは？半導体用の高純度ガスと試薬の溶液の違い、純度・ボンベ・価格の選び方

三塩化ホウ素とは

三塩化ホウ素は、沸点が12.5℃の物質で、ボンベの中では液化ガスになっています。CAS番号は10294-34-5です。半導体の工場ではコンダクタのエッチングに使い、とくにメタルのエッチングに向いています。

比較ページには、日本法人が自社の製品として案内している品を載せています。商社が売る他社の製品、三フッ化ホウ素など他のガスは載せていません。

2つの種類

• 高純度ガスは、ボンベで受けてエッチング装置やCVD装置に流します。例はレゾナックの高純度三塩化ホウ素、UBEの三塩化ホウ素、日本酸素の三塩化ホウ素 BCl3、高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rです
• 溶液の試薬は、ジクロロメタンに溶かした品で、用途は有機合成です。例は富士フイルム和光純薬の029-13941です

純度と容器

• 日本酸素の純度は99.9999wt%以上で、容器は47L・10L・3.4Lです
• レゾナックの純度は5Nで、10L容器に10kg、47L容器に50kgを詰めます
• 高千穂化学工業の三塩化ホウ素 Rは、純度が99.999%です
• UBEは高純度品と書いていますが、数字は公式ページに出ていません

値段

• 公式に値段が出ているのは、富士フイルム和光純薬の溶液の100mLで17,400円（税抜）⁠で⁠⁠⁠⁠す
• 高純度ガスは公式に値段が出ていないので、容器と量を伝えて見積もりをとります

扱うときの注意

• 毒物なので、受け入れと保管の決まりを先に確かめます
• SDSでは、吸入の急性毒性が区分3、皮膚腐食性が区分1A-1Cです
• 施錠して保管し、局所排気か全体換気を行います
• 溶液の試薬は水とアセトンで分解します。保存は冷所（25℃以下）⁠で⁠⁠⁠⁠す