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面測定式エリプソメーター（膜厚分布・ウェーハ全面）のメーカー4社比較【2026年】

面測定式エリプソメーターは、
ウェーハの全面や視野全体を自動で測り、
膜厚の分布を見る装置です。

ABOUT

面測定式エリプソメーターとは

業界電機・電子・半導体使用用途半導体製造

面測定式エリプソメーターとは、ウェーハの全面や視野全体を自動で測り、膜厚の分布を地図や画像で出すエリプソメーターです。
工程の管理や微細な構造の評価に使います。

面測定式は、測定の速さ・面の測定点・スポット・試料の大きさ・波長の違いで比べて選びます。

特に、全画素を同時に測るイメージング機はパーク・システムズ、毎分5,000点以上の高速マッピングはフォトニックラティス、300mmウェーハの全自動は日本セミラボ、R-θステージで直径300mmを回る自動機はアルバックです。

※仕様は各メーカーの公式の製品ページによる。UNECS-3000Aは2011年の公式発表、M-2000は米国本社の英語ページによる。

LIST

面測定式エリプソメーターの比較表

面測定式エリプソメーターの価格・相場公開価格なし

相場価格: 各社要見積公開価格がありません

面測定式エリプソメーター（膜厚分布・ウェーハ全面）4製品の比較
製品・メーカー	製品の特徴	製品の強み	使用用途・場所	価格
株式会社アルバック高速分光エリプソメーター UNECS-3000A製品の詳細を見るメーカー公式サイトshowcase.ulvac.co.jp	R-θステージで直径300mmの基板を自動で回り、膜厚の分布を色の地図で出す高速分光エリプソメーターです。	高次の位相子2枚を使うスナップショット測定で、最大20ms/点で測ります。R-θステージで直径300mmの基板を自動で回り、分布を色の地図で出します。値は2011年の発表のもので、2026年6月30日で販売を終えました（保守は7年続きます）。	ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見る	要見積
日本セミラボ株式会社マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000製品の詳細を見るメーカー公式サイトsemilab.com	FOUPのロードポートを持ち、300mmウェーハを全自動で測るマイクロスポット分光エリプソメーターです。	FOUPのロードポートを持ち、300mmウェーハを全自動で測る機種です。測定点は最大3 000点まで自分で決められます。量産ウェーハの監視とロット間の均一性の管理に使います。	量産ラインのウェーハの全自動監視	要見積
パーク・システムズ・ジャパン株式会社イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4製品の詳細を見るメーカー公式サイトparksystems.com	顕微鏡とエリプソメーターを1台にまとめ、視野の全画素を同時に測るイメージング分光エリプソメーターです。	顕微鏡とエリプソメーターを1台にまとめ、視野の全画素を同時に測ります。面内分解能は最高1µmで、1点ずつ走査する必要がありません。先に画像で場所を選んでから測れるので、MEMSや光導波路の評価に使えます。	微細な構造の膜を画像で見て測る評価	要見積
株式会社フォトニックラティス高速エリプソメーター ME-210製品の詳細を見るメーカー公式サイトphotonic-lattice.com	636nmのレーザーで、膜厚の2次元分布を毎分5,000点以上で測る高速エリプソメーターです。	1nm以下の膜厚変化を面で高速に測る機種です。高精細モードは5.5µm角のスポットで毎分5,000点以上を測ります。波長は636nmの1つなので、分光で光学定数を細かく解析する用途には向きません。	レジスト膜の面内むらを高密度に見る	要見積

出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/keisoku/ellipsometer-mapping/／各社の公式資料（2026年11月7日確認）

FEATURES

面測定式エリプソメーターの使用用途・特徴・メリット

使用用途

どこに使うか
ウェーハ面内の膜厚むらの確認、量産ウェーハの全自動監視、微細な構造の膜の評価。
何のために使うか
面の多くの点を自動で測り、膜厚の分布を見るためです。

特徴

どんなものか
ウェーハの全面や視野全体を自動で測り、膜厚の分布を地図や画像で出す機種です。
強み
毎分5,000点以上を測る機種や、300mmウェーハを全自動で測る機種があります。

メリット

使うメリット
面内のむらを、1点ずつ手で測らずに見られます。
研究開発用の分光エリプソメーターに比べたメリット
点を自動で重ねるか視野を一度に測るので、ウェーハ全面の分布を短い時間で出せます。

エリプソメーターを使う根本の理由は、薄い膜の厚さと光学定数を、試料に触れずに偏光の変化から求められることです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

結果は解析のモデルで変わる
材料のn、kが分からないと、厚さとの切り分けが難しくなります。
よくある失敗モデルを確かめずに、出た厚さをそのまま記録する。
小さいパターンは微小スポットで
スポットより小さいパターンは、微小スポットの機種を選びます。
よくある失敗3mmのスポットで、数十µmのパターンを測る。
波長の範囲は機種で違う
波長の範囲は機種で違います。紫外で測るレジストなら、紫外まである型を選びます。
よくある失敗可視だけの機種で、紫外の光学定数を求める。
床の強さと搬入口を先に見る
大きな機種は約200kgあります。床の強さと搬入口の幅を先に見ます。
よくある失敗搬入の日に、入口の幅が足りないと分かる。

Q&A

面測定式エリプソメーター選びで、よくある疑問

購買担当の疑問面測定式はいくら？

今の価格を公式に出している会社はありません。アルバックのUNECS-3000Aは2011年の発表で15,000,000円（本体・コントローラ・パソコン込み）でしたが、今の価格ではありません。ウェーハの大きさ、測る点の数、ライン搬送の要否を伝えて見積もりを取ってください。

設備担当の疑問4機種はどう違う？

Accurion EP4は顕微鏡と一体で、視野の全画素を同時に測ります。ME-210は636nmのレーザーで毎分5,000点以上を測ります。µSE-3000はFOUPのロードポートで300mmウェーハを全自動で測り、UNECS-3000AはR-θステージで直径300mmを自動で回ります。研究の評価か量産の監視かで選んでください。