分光エリプソメーター（研究開発・膜の解析）のメーカー3社比較【2026年】

このページの4機種は、どれも今の価格を公式に出していないので、見積もりを取る必要があります。測りたい膜の材料と構成、試料の大きさ、欲しい波長範囲を伝えると、構成を決めた見積もりが返ってきます。解析のソフトや角度の台など、オプションの範囲も合わせて聞いてください。

大塚電子のFE-5000は回転検光子法で300nm〜800nmを測り、レジストのn、kの評価に使えます。M-2000は回転補償子とCCDで全波長を同時に取ります。堀場製作所のUVISEL Plusは位相変調で190nm〜2100nm、Smart SEは液晶変調で450nm〜1000nmをボタン操作で測ります。研究か生産管理かで選んでください。

偏光の変化の取り方が違います。回転素子式は検光子や補償子を回しながら測り、変調式は素子を機械で回さず、光の位相を電気で変えて測ります。UVISEL Plusは50kHzの位相変調です。どちらも膜の厚さとn、kを出せるので、波長範囲と速さで比べてください。

測る膜が光を通す波長と、n、kを見たい波長に合わせます。紫外から近赤外まで見るならUVISEL Plusの190nm〜2100nm、M-2000は構成により193nm〜1690nmです。可視で足りるならSmart SEの450nm〜1000nm、FE-5000は300nm〜800nmです。

公式に書いている範囲では、FE-5000は0.1nm〜1μm、Smart SEは1nm〜15μmです。UVISELシリーズは30μmまでの厚膜層も測れるとしています。材料と膜の構成で変わるので、実際の試料で確かめてください。

FE-5000とM-2000は45°〜90°、UVISEL Plusは45°〜90°を電動で変えられます。Smart SEは標準で70°固定で、45°〜90°の範囲から5°刻みで変えられます。多層膜を細かく解析するなら、入射角を変えて測れる機種を選んでください。

M-2000は全スペクトルを最短0.05秒で取れ、成膜中の変化を追う測定に使えます。UVISEL Plusも1点約60msと速く、膜の変化を追えます。成膜装置への取り付けの形を、メーカーに相談してください。

堀場製作所のSmart SEは、ボタン操作で1nm〜15μmの膜を測れ、カメラで表面と測定位置を見ながら合わせられます。入射角は標準で70°固定なので、決まった膜の管理に向きます。測る膜の種類が決まっているなら、この機種から見てください。

UVISEL Plusは850×470×700mm、約85kgでAC100Vを使います。Smart SEの本体は840×230×340mmです。M-2000はAC100〜240Vです。床の強さと搬入口の幅、除振の要否を先に確かめてください。

日本語の公式サイトが休止中で、日本で販売中かは確かめられていません。仕様は米国本社の英語ページの値です。検討するなら、ジェー・エー・ウーラムに販売とサポートの窓口を先に問い合わせてください。