13.56MHzの高周波電源のメーカー5社比較【2026年】

このページの5社8製品は、どれも公式に値段を出していないので、見積もりを取る必要があります。定格出力・冷却方式・入力電源・出力コネクタ・整合器を含めるかを伝えると早く返ってきます。アリオスやアルバックのように専用の整合器と組む型は、組み合わせで見積もってください。

アリオスのRP-301は単相AC100Vから使える300W、ダイヘンのRGA-50は変換効率75%の5kWです。京三製作所のRFK35TSは3.5kWを15kgに収め、ノダRFは空冷の1kWと幅215mmの3kWを出しています。アルバックのRFS-Nは整合の制御を電源にまとめます。出力と置き場所で選んでください。

表では、アリオスのRP-301が300W、ノダRFのNR1N-xxとアルバックのRFS-1310N、アリオスのRP-1K02が1kW、ノダRFのNR3N-xxが3kW、京三製作所のRFK35TSが3.5kW、ダイヘンのRGA-50とアルバックのRFS-1350Nが5kWです。ダイヘンのRGAシリーズは30kWまであります。

ノダRFのNR1N-xx、アルバックのRFS-1310N、アリオスのRP-301とRP-1K02が空冷で、冷却水の配管を引かずに置けます。3kW以上のNR3N-xx・RFK35TS・RGA-50・RFS-1350Nは水冷を使います。置き場所に冷却水が来ているかで、出力の上限が決まります。

アリオスのRP-301は単相AC100〜240V、アルバックのRFS-1310Nは単相AC200V-220Vです。アリオスのRP-1K02、京三製作所のRFK35TS、ノダRFの2機種、アルバックのRFS-1350Nは三相です。研究室で単相しか無いなら、300Wか1000Wの単相の型から選んでください。

電源と組み合わせて選びます。アリオスのRP-301は自動マッチングボックスMB-302、RP-1K02はMB-1K02と組みます。アルバックのRFS-Nはオートマッチングコントローラの機能を持ち、専用のマッチングボックスとつなげば整合の制御を電源側でまとめられます。

幅215mmの型があります。京三製作所のRFK35TSは幅215mm×高さ133mm×奥行377mmで3.5kW・15kg、ノダRFのNR3N-xxは幅215mm×高さ146mmで3kWです。ダイヘンのRGA-50は5kWで高さ133mmです。ラックの幅と段数を測ってから選んでください。

アリオスのRP-301は300Wで質量2.9kg、単相AC100〜240Vで動き、手動の実験用プラズマ源から自動制御のプラズマ源まで使えると案内しています。出力コネクタはBNC型です。手持ちのプラズマ源のコネクタと合うかを確かめてください。

アリオスのRP-301はBNC型、RP-1K02とアルバックのRFS-1310NはN型、京三製作所のRFK35TSとノダRFの2機種はHN型、アルバックのRFS-1350NはDIN 7/16です。整合器やケーブルのコネクタと合わせて選んでください。

アリオスのRPシリーズは高反射のときに出力を制限します。ノダRFの解説では、整合器の2つの可変素子を調整して反射電力を下げます。アリオスの解説では、トラブルで多いのはマッチングボックスの焼損です。不調のときは整合器の素子から見てください。