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高周波電源(400kHz・2MHz)のメーカー2社比較【2026年】

低い周波数の高周波電源は、
400kHzや2MHzの高周波電力を送り、
プラズマを作る電源です。

ABOUT

高周波電源とは

低い周波数の高周波電源とは、400kHzや2MHzの高周波電力を送って、プラズマを作る電源です。
プロセスで低い周波数を指定された装置に使います。

低い周波数の高周波電源は、周波数・定格出力・入力電源・冷却方式・寸法の違いで比べて選びます。
価格は公式には出ていません。

特に、2MHzで5000Wを出し冷却に水冷を併用するのはアドテックプラズマテクノロジー、400kHzを単相200Vの空冷・高さ88mmで出すのは京三製作所です。

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。整合の仕組みとノイズ対策はノダRFテクノロジーズ、トラブルの傾向はアリオスの解説による。

LIST

高周波電源の比較表

高周波電源の価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
高周波電源(400kHz・2MHz)2製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み使用用途・場所価格
株式会社アドテックプラズマテクノロジー2MHz高周波電源 TXM 5000W製品の詳細を見るメーカー公式サイトadtec-rf.co.jp

2MHz・定格5000Wの高周波電源で、冷却は強制空冷と水冷を併用し、パルスと周波数可変をオプションで付けられます。

2MHzで5000Wを出せる、TXMシリーズの大きいほうの型です。三相AC200-240Vで動き、冷却は強制空冷と水冷を併用します。パルスと周波数可変はオプションで付けられます。

2MHzで大きな出力が要るプラズマプロセスの装置に組み込み、プラズマを起こす

要見積
株式会社京三製作所RFジェネレータ HFK15TP製品の詳細を見るメーカー公式サイトkyosan.co.jp

400kHz・定格1.50kWのMOS-FET方式の電源で、単相200-220Vの強制空冷、高さ88mm・14kgです。

400kHzを単相200-220Vの空冷で動かせる型です。高さ88mmと低く、14kgで済みます。出力はMOS-FET方式です。

400kHzでプラズマを起こす装置に組み込み、単相200Vの空冷で動かす

要見積
FEATURES

高周波電源の使用用途・特徴・メリット

使用用途

  • どこに使うか

    プロセスで400kHzや2MHzを指定された装置、ほかの周波数と組み合わせる装置。

  • 何のために使うか

    指定された低い周波数で、プラズマを作る電力を送るためです。

特徴

  • どんなものか

    400kHz・2MHz・4MHzの高周波電源で、空冷の小型機から水冷併用の5000W機まであります。

  • 強み

    ダイヘンは400kHz・2MHz・4MHzを500W〜20kWまでそろえています。

メリット

  • 使うメリット

    プロセスの指定どおりの周波数で、プラズマを起こせます。

  • 13.56MHzの高周波電源に比べたメリット

    400kHzや2MHzを指定するプロセスに合わせられ、13.56MHzの電源と組み合わせる装置も組めます。

高周波電源を使う根本の理由は、半導体やFPDの製造装置で、プロセスに合った周波数の高周波電力を送り、プラズマを決まった状態で起こせることです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

  1. 周波数はプロセスの指定で決める

    高周波電源は周波数で型が分かれます。プロセスや装置が指定する周波数から選びます。

    よくある失敗出力だけを見て、周波数の違う型を選ぶ。

  2. 水冷併用の型は冷却水を用意する

    水冷を併用する型は、冷却水の配管と流量を用意します。アルバックのRFS-1350Nは流量6L/minです。

    よくある失敗空冷のつもりで置き場所を決め、冷却水の配管が届かない。

  3. 三相の型は工場の電源を先に見る

    三相の型は、工場側の電源と入力容量を先に確かめます。

    よくある失敗単相しか来ていない装置に、三相の電源を選ぶ。

  4. 不調ならマッチングボックスの素子を見る

    RFのトラブルで多いのはマッチングボックスの焼損です。不調のときは素子を見ます。

    よくある失敗電源の本体だけを替えて、焼けた素子をそのまま使う。

Q&A

高周波電源選びで、よくある疑問

購買担当の疑問400kHzや2MHzの電源はいくら?

このページの2社2製品は、どちらも公式に値段を出していないので、見積もりを取る必要があります。周波数・定格出力・冷却方式・入力電源・パルスなどのオプションを伝えると早く返ってきます。整合器を合わせて頼むなら、組み合わせの見積もりにしてください。

設備担当の疑問2社の電源はどう違う?

アドテックのTXMは2MHz・5000Wで、冷却は強制空冷と水冷の併用、質量は56kgです。京三製作所のHFK15TPは400kHz・1.50kWで、単相200-220Vの強制空冷、高さ88mm・14kgです。周波数と出力が違うので、プロセスの指定から決めてください。

設備担当の疑問ほかに400kHzや2MHzの型はある?

ダイヘンがMGAシリーズで400kHz、WGAシリーズで2MHz、TGAシリーズで4MHzを、どれも500W〜20kWで出しています。アドテックのTXMシリーズは2500Wと5000Wです。要る出力が表の型に無いなら、ダイヘンのシリーズも合わせて見積もってください。

施設管理の疑問空冷で使える?

京三製作所のHFK15TPは強制空冷で、冷却水の配管が要りません。アドテックのTXMは強制空冷と水冷の併用なので、冷却水を用意します。置き場所に冷却水が来ていないなら、空冷の型から選んでください。

施設管理の疑問入力電源は?

京三製作所のHFK15TPは単相200-220Vで2.0kVA以下、アドテックのTXMは三相AC200-240Vです。装置の電源が単相か三相かで選べる型が変わるので、配電盤の容量と合わせて先に確かめてください。

施設管理の疑問大きさと重さは?

京三製作所のHFK15TPは幅480mm×高さ88mm×奥行430mmで14kg、アドテックのTXMは幅430mm×奥行650mm×高さ221mmで56kgです。ラックに載せるなら、高さと奥行がラックに収まるかを図面で確かめてください。

設備担当の疑問パルスで使える?

アドテックのTXMは、パルスと周波数可変をオプションで付けられます。アークカットのオプションもあります。京三製作所のHFK15TPはパルスの記載がありません。パルスで処理したいなら、アドテックに要るパルスの条件を伝えて確かめてください。

工場長の疑問反射に強いのはどっち?

アドテックのTXシリーズは、高反射に耐えるAB級リニアAMPを使っています。京三製作所のHFK15TPはMOS-FET方式で、京三の高周波電源はD級RFアンプを心臓部にしています。反射の多い工程で使うなら、保護の仕組みを両社に聞いてから選んでください。

工場長の疑問13.56MHzと組み合わせて使える?

低い周波数の電源は、ほかの周波数の電源と組み合わせる装置にも使います。ダイヘンは400kHzから60MHzまでそろえていて、組み合わせを同じ会社で組めます。2つの周波数を使う装置なら、整合器も含めて組み合わせで相談してください。

工場長の疑問不調のときはどこを見る?

アリオスの解説では、RFのトラブルで多いのはマッチングボックスの焼損です。電源の本体を替える前に、マッチングボックスの素子が焼けていないかを見てください。反射電力の記録が残せるなら、不調の前後の値を見比べると原因を早く絞れます。

MAKERS

高周波電源の主なメーカー2社

株式会社アドテックプラズマテクノロジー

特徴
1985年1月設立で、広島県福山市に本社を置きます。 液晶基板や半導体の製造装置に載せるプラズマ用高周波電源とマッチングユニットを作っています。

広島県

株式会社京三製作所

特徴
横浜市鶴見区に本社と工場を置き、鉄道信号システム、交通管理システム、電力変換システムを手がける。

神奈川県

出典
  1. ダイヘン プラズマ発生用電源・自動整合器
  2. ダイヘン 400kHz MGAシリーズ
  3. ダイヘン 13.56MHz RGAシリーズ
  4. ダイヘン 60MHz AGAシリーズ
  5. ダイヘン 総合カタログ
  6. アドテックプラズマテクノロジー TXR、TXL、TXMシリーズ
  7. ノダRFテクノロジーズ NR1N-xx
  8. ノダRFテクノロジーズ NR3N-xx
  9. ノダRFテクノロジーズ よくあるご質問
  10. 京三製作所 RFジェネレータ
  11. 京三製作所 RFシステム
  12. アルバック Model: RFS-N
  13. アリオス RF電源 RPシリーズ
  14. アリオス プラズマQ&A
  15. アドテックプラズマテクノロジー TXシリーズ
掲載基準

高周波電源のうち、400kHzから4MHzまでの低い周波数の型です。自社で作る日本の会社の機種を、公式の製品ページで確かめて載せました。ダイヘンのMGA・WGA・TGAシリーズは、表の製品に入れず、ほかの型として本文で触れています。13.56MHzと27.12MHz以上の型は、高周波電源の比較のページに載せています。

高周波電源(400kHz・2MHz)を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

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