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高周波電源(400kHz・2MHz)のメーカー2社比較【2026年】
低い
400kHz
プラズマを
高周波電源とは

低い
プロセスで
低い
価格は
特に、
※仕様は
高周波電源の比較表
高周波電源の価格・相場公開価格なし
- 相場価格
- 各社 要見積公開価格が
ありません
| 製品・ | 製品の特徴 | 製品の強み | 使用用途・場所 | 価格 |
|---|---|---|---|---|
株式会社 | 2MHz・ | 2MHzで | 2MHzで | 要見積 |
株式会社 | 400kHz・ | 400kHzを単相 | 400kHzでプラズマを | 要見積 |
出典:
高周波電源の使用用途・特徴・メリット
使用用途
どこに
使うか プロセスで
400kHz や2MHzを 指定された装置、 ほかの 周波数と 組み合わせる装置。 何の
ために 使うか 指定された
低い周波数で、 プラズマを 作る電力を 送るためです。
特徴
どんな
ものか 400kHz・
2MHz・ 4MHzの 高周波電源で、 空冷の 小型機から 水冷併用の 5000W 機まであります。 強み
ダイヘンは
400kHz・ 2MHz・ 4MHzを 500W〜20kWまで そろえています。
メリット
使う
メリット プロセスの
指定ど おりの 周波数で、 プラズマを 起こせます。 13.56MHzの
高周波電源に 比べた メリット 400kHz
や2MHzを 指定する プロセスに 合わせられ、 13.56MHzの 電源と 組み合わせる 装置も 組めます。
高周波電源を
選ぶときに注意すること
周波数は
プロセスの 指定で 決める 高周波電源は
周波数で 型が分かれます 。プロセスや 装置が 指定する 周波数から 選びます。 よく
ある失敗 出力だけを見て、周波数の 違う型を選ぶ。 水冷併用の
型は冷却水を 用意する 水冷を
併用する型は、 冷却水の 配管と流量 を用意します。 アルバックの RFS-1350Nは流量 6L/minです。 よく
ある失敗 空冷のつもりで 置き場所を決め、 冷却水の 配管が 届かない。 三相の
型は工場の 電源を 先に見る 三相の型は、
工場側の 電源と 入力容量を 先に確かめます。 よく
ある失敗 単相しか来ていない 装置に、 三相の 電源を選ぶ。 不調なら
マッチング ボックス の素子を見るRFの
トラブルで 多いのはマッチング ボックス の焼損です。不調の ときは 素子を 見ます。 よく
ある失敗 電源の本体だけを 替えて、 焼けた 素子を そのまま使う。
高周波電源選びで、よくある疑問

購買担当の疑問 400kHzや2MHzの電源はいくら?
この

設備担当の疑問2社の電源はどう違う?
アドテックの

設備担当の疑問ほかに400kHzや2MHzの型はある?
ダイヘンが

施設管理の疑問空冷で使える?
京三製作所の

施設管理の疑問 入力電源は?
京三製作所の

施設管理の疑問 大きさと重さは?
京三製作所の

設備担当の疑問 パルスで使える?
アドテックの

工場長の疑問反射に強いのはどっち?
アドテックの

工場長の疑問 13.56MHzと組み合わせて使える?
低い

工場長の疑問不調のときはどこを見る?
アリオスの
高周波電源の主なメーカー2社
高周波電源の関連製品の比較表
出典
掲載基準
高周波電源のうち、
高周波電源




