高周波電源（27.12MHz・60MHz）のメーカー2社比較【2026年】

このページの2社2製品は、どちらも公式に値段を出していないので、見積もりを取る必要があります。周波数・定格出力・冷却方式・パルスの条件・通信の方式を伝えると早く返ってきます。整合器を合わせて頼むなら、組み合わせの見積もりにしてください。

アドテックのTXRは27.12MHz・10000Wで、表で定格出力がもっとも大きい型です。冷却は強制空冷と水冷の併用で、質量は81kgです。ダイヘンのAGAは60MHz・500W〜5kWで、1Hz〜100kHzの2レベルパルスを出せます。周波数と出力で選んでください。

ダイヘンは60MHzのAGAシリーズを、3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも案内しています。出力は500W・1kW・2kW・3kW・5kWです。先端の半導体プロセスの開発で60MHzを指定されているなら、要る出力を伝えて相談してください。

ダイヘンがNGAシリーズで27.12MHz、FGAシリーズで40.68MHzを、どちらも500W〜5kWで出しています。アドテックのTXRシリーズは、13.56MHzで300W・600W・1000W・3000W、27.12MHzで10000Wです。要る出力と周波数で、シリーズから選んでください。

できます。ダイヘンのAGAは1Hz〜100kHzの2レベルパルスを出せます。アドテックのTXRは、パルス・周波数可変・アークカットをオプションで付けられます。パルスで処理したいなら、要る周波数の範囲とレベルの数を伝えて型を決めてください。

アドテックのTXRは強制空冷と水冷の併用なので、冷却水を用意します。ダイヘンのAGAは公式のページに冷却方式の記載がありません。置き場所の冷却水の流量と圧力を伝えて、メーカーに確かめてください。

アドテックのTXRは幅430mm×奥行700mm×高さ265mmで81kgです。ダイヘンのAGAは出力で寸法が変わり、幅215mm・420mm、高さ133mm・222mmの型があります。ラックに載せるなら、出力ごとの寸法を図面で取り寄せてください。

アドテックのTXRは三相AC200-240Vです。ダイヘンのAGAは公式のページに入力電源の記載が無いので、問い合わせで確かめます。10000Wの電源は入力の容量も大きくなるので、工場側の配電の余力を先に調べてください。

アドテックのTXRは通信にEtherCATも選べるので、装置側の制御に合わせやすくなります。ダイヘンのAGAは自動整合器と組み合わせるシリーズです。装置の制御の方式を伝えて、通信とインターフェースが合うかを確かめてください。

ノダRFテクノロジーズの解説では、接地は高周波ノイズの対策にならず、導体で囲うシールドと配線の見直しを進めます。それでも残るならフィルタで不要な周波数を切ります。高い周波数の電源を足すときは、まわりの機器への影響を測ってから配線を決めてください。