フォトマスクのメーカー9社比較【2026年】

フォトマスクは受注生産で、ここに載せた9社とも公式サイトに値段を出していません。大きさ・最小線幅・精度・枚数で変わるので、データを渡して見積もりをとります。フィルムマスクはガラスのマスクより安く、日本フイルコンはコストパフォーマンスに優れた製品と案内しています。

基板と遮光膜で分かれます。ガラスにクロムで描くクロムマスク、ガラスに銀塩の乳剤を塗るエマルジョンマスク、ポリエステルに乳剤を塗るフィルムマスクです。半導体用には、光の位相を変える位相シフトマスクや、反射で写すEUVマスクもあります。

クロムマスクは細かく、寸法も動きにくいマスクです。最小線幅はメッシュの大型クロムマスクが0.75μm、エクアの小型が1μmです。フィルムマスクは安く早くできますが、最小線幅はメッシュが30μm、エクアが20μmで、湿度でも伸び縮みします。

熱での伸びが違います。エクアの解説では、1℃・100mmあたり合成石英は0.05μm、ソーダライムは0.8μm伸びます。竹田東京プロセスサービスの温度変化率は、ソーダライムが0.00085%、人工石英が0.00006%です。露光中の温度で寸法を動かしたくないなら石英にします。

半導体用は5インチ角と6インチ角が中心で、テクセンドフォトマスクは6インチ角（152.4mm）⁠ま⁠で作ります。大型は日本フイルコンが813mm×813mmまで、メッシュが1400×1500mmまでです。フィルムはエクアが2300×1506mmまで作ります。

日本フイルコンのレチクルは最小寸法0.5μmから、寸法の保証は±0.05μmです。東洋精密工業は最小線幅1.0μmから、線幅精度±0.1μmからです。竹田東京プロセスサービスはクロムガラスマスクが2μmから、エマルジョンガラスマスクが10μmからです。

位相シフトマスクは、光の位相や透過率を変えて、露光の解像度と焦点深度を良くしたマスクです。ハーフトーンマスクは、半透過の膜で中間の露光をするマスクです。エスケーエレクトロニクスは、パネル用にハーフトーンマスクとグレイトーンマスクを作ります。

レチクルは、ステッパーやスキャナーでウェハに回路を写すフォトマスクのことです。日本フイルコンは、アライナーで一括に写すものをワーキングマスクと呼んで分けています。レチクルは石英の5インチ角か6インチ角が中心です。

ペリクルは、クロムマスクの表面にゴミが付かないように守る保護膜です。主にステッパーなどの露光装置で使い、使える機種は装置で決まります。テクセンドフォトマスクの各種用途向けフォトマスクは、ペリクルを貼って納められます。

型を押し当てて、数十nm単位のパターンを写すナノインプリントの原版です。方式はUVと熱の2種類です。テクセンドフォトマスクは6025（152×152×6.35mm）の石英モールド、大日本印刷は最大6インチ角で20nm程度の型を作ります。

フィルムやエマルジョンの膜はゼラチン質で、傷が付きやすいので、膜の面に触れずに扱います。竹田東京プロセスサービスは、エマルジョンガラスマスクにハードコートを、クロムガラスマスクに撥水撥油のコートを付けられます。ゴミはそのまま写るので、ペリクルで守る方法もあります。

竹田東京プロセスサービスはGerber・DWG・DXF・GDS・ODB++、メッシュはDXF・ガーバー・GDS IIなどを受け付けます。エクアは図面やラフスケッチからデータを作ります。テクセンドフォトマスクも図面の支給で作れます。