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フォトマスク小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）

半導体用レチクル（5・6インチ）

日本フイルコン株式会社

日本フイルコンの半導体用レチクル。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
向いている所
パワー半導体・ASICのステッパー用
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比較表での位置

半導体用レチクル（5・6インチ）は、フォトマスクのメーカー9社比較⁠の種類が小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）の4製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
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  • 4製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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半導体用レチクル（5・6インチ）​の強みと方式

ステッパーとスキャナーで使う、石英のレチクルです。最小寸法0.5μmから、寸法と位置の保証は±0.05μmです。0.35μmルールのディスクリートやパワーデバイス、マイコン向けに納めています。

向いている所パワー半導体・ASICのステッパー用

種類：小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）

石英やソーダライムのガラスに、クロムで回路を描いた9インチまでのマスクです。ステッパー・スキャナー用のレチクルと、アライナーで一括に写すマスクがあります。細かい線が描け、日本フイルコンのレチクルは最小寸法0.5μmからです。

半導体用レチクル（5・6インチ）​の仕様

種類
小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
品種
2層クロム（バイナリー）
基板
石英
基板サイズ
5×5×0.09インチ、6×6×0.25インチ
最小線幅
0.5μm〜
線幅精度
±0.05μm
価格
—公式資料で確認できず
描画エリア
—公式資料で確認できず
位置精度
±0.05μm
主な用途
ディスクリート、パワーデバイス、ASIC、マイコン

パターン倍率は1倍から5倍。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

半導体用レチクル（5・6インチ）日本フイルコン株式会社クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）株式会社エクア各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）テクセンドフォトマスク株式会社
種類小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
品種2層クロム（バイナリー）低反射二層クロム（光学濃度3.0OD）—公式資料で確認できず
基板石英合成石英、ソーダライム合成石英、厚み0.09〜0.25インチ
基板サイズ5×5×0.09インチ、6×6×0.25インチ最大228.6×228.6mm5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）
最小線幅0.5μm〜1μm—公式資料で確認できず
線幅精度±0.05μm±0.1・±0.3・±0.5・±1.0μm—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
描画エリア—公式資料で確認できず212.8×212.8mm—公式資料で確認できず
位置精度±0.05μm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
主な用途ディスクリート、パワーデバイス、ASIC、マイコン—公式資料で確認できずMEMS、ICバンプ、半導体パッケージ、マイクロレンズアレイ

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半導体用レチクル（5・6インチ）​のよくある質問

Q.半導体用レチクル（5・6インチ）はどんな人に向いている？
半導体用レチクル（5・6インチ）は、パワー半導体・ASICのステッパー用に使う人向けです。半導体用レチクル（5・6インチ）は、ステッパーとスキャナーで使う、石英のレチクルです。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）の強みは？
半導体用レチクル（5・6インチ）は、最小寸法0.5μmから、寸法と位置の保証は±0.05μmです。0.35μmルールのディスクリートやパワーデバイス、マイコン向けに納めています。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）はどんな方式？
半導体用レチクル（5・6インチ）の種類は小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）で⁠す⁠。石英やソーダライムのガラスに、クロムで回路を描いた9インチまでのマスクです。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）の主な仕様は？
半導体用レチクル（5・6インチ）の品種は2層クロム（バイナリー）、基板は石英です。基板サイズは5×5×0.09インチ、6×6×0.25インチ、最小線幅は0.5μm〜⁠⁠⁠です。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）とクロムマスク 小サイズ（228.6mm角）はどっちがいい？
パワー半導体・ASICのステッパー用なら半導体用レチクル（5・6インチ）、228.6mm角までの小型・高精度ならエクアのクロムマスク 小サイズ（228.6mm角）⁠で⁠す⁠。半導体用レチクル（5・6インチ）の品種は2層クロム（バイナリー）、基板は石英です。エクアのクロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の品種は低反射二層クロム（光学濃度3.0OD）、基板は合成石英、ソーダライムです。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）の線幅精度は？
半導体用レチクル（5・6インチ）の線幅精度は±0.05μmです。エクアのクロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の線幅精度は±0.1・±0.3・±0.5・±1.0μmです。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）の位置精度は？
半導体用レチクル（5・6インチ）の位置精度は±0.05μmです。東洋精密工業の9インチから700×800mmまでのクロムマスクの位置精度はピッチ±1.0μm〜⁠⁠⁠です。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）と各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）はどっちがいい？
パワー半導体・ASICのステッパー用なら半導体用レチクル（5・6インチ）、MEMS・パッケージ用の石英マスクならテクセンドフォトマスクの各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）⁠で⁠す⁠。半導体用レチクル（5・6インチ）の品種は2層クロム（バイナリー）、基板は石英です。テクセンドフォトマスクの各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の基板は合成石英、厚み0.09〜0.25インチ、基板サイズは5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）のほかに日本フイルコンのフォトマスクはある？
あります。日本フイルコンのフォトマスクには、半導体用レチクル（5・6インチ）のほかに大版フォトマスク（10〜32インチ）（基板は石英、ソーダライム）があります。
Q.半導体用レチクル（5・6インチ）はどこのメーカー？
半導体用レチクル（5・6インチ）は日本フイルコン株式会社の製品です。製紙用の網などのほか、ファインエレクトロニクスカンパニーでフォトマスクを作る。

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