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フォトマスク大型クロムマスク（FPD・基板用）

クロムガラスマスク

竹田東京プロセスサービス株式会社

竹田東京プロセスサービスのクロムガラスマスク。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
大型クロムマスク（FPD・基板用）
向いている所
MEMS・WLP・パネル用の高精細
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比較表での位置

クロムガラスマスクは、フォトマスクのメーカー9社比較⁠の種類が大型クロムマスク（FPD・基板用）の4製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
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  • 4製品同じ種類
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クロムガラスマスクの強みと方式

遮光膜を低反射2層・単層・3層のクロムから選べるガラスマスクです。最小ラインは2μmで、700×800mmまで作れます。人工石英を選ぶと、露光中の温度変化で寸法が動きにくくなります。

向いている所MEMS・WLP・パネル用の高精細

種類：大型クロムマスク（FPD・基板用）

10インチを超える大きなガラスにクロムで描いたマスクで、液晶・有機ELのパネルやプリント基板に使います。メッシュは1400×1500mmまで、エスケーエレクトロニクスは第10・11世代のパネル用まで作ります。

クロムガラスマスクの仕様

種類
大型クロムマスク（FPD・基板用）
品種
低反射2層クロム、単層クロム、3層クロム
基板
ソーダライム、人工石英
基板サイズ
〜700×800mm、厚み1.0〜5.0mm
最小線幅
2μm〜
線幅精度
短寸法±0.2μm〜
価格
—公式資料で確認できず
描画エリア
—公式資料で確認できず
位置精度
長寸法±0.5μm〜
主な用途
MEMS、LCD、OLED、WLP、薄膜チップ部品

24時間稼働で短納期に対応。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

クロムガラスマスク竹田東京プロセスサービス株式会社大版フォトマスク（10〜32インチ）日本フイルコン株式会社大型クロムマスク（1400×1500mm）メッシュ株式会社
種類大型クロムマスク（FPD・基板用）大型クロムマスク（FPD・基板用）大型クロムマスク（FPD・基板用）
品種低反射2層クロム、単層クロム、3層クロム—公式資料で確認できずクロムマスク
基板ソーダライム、人工石英石英、ソーダライムソーダライムガラス、合成石英
基板サイズ〜700×800mm、厚み1.0〜5.0mm10×10〜32×32インチ、最大813mm×813mm〜1400×1500mm
最小線幅2μm〜L/S 5/5μm0.75μm（描画モードI）
線幅精度短寸法±0.2μm〜±0.3μm〜CD均一性65nm（3σ）
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
描画エリア—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず1350×1450mm
位置精度長寸法±0.5μm〜トータルピッチ±0.4μm〜重ね精度225nm（3σ）
主な用途MEMS、LCD、OLED、WLP、薄膜チップ部品プリント基板、液晶、有機EL、タッチパネル有機EL、タッチパネル、液晶パネル、電子部品

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クロムガラスマスクのよくある質問

Q.クロムガラスマスクはどんな人に向いている？
クロムガラスマスクは、MEMS・WLP・パネル用の高精細に使う人向けです。クロムガラスマスクは、遮光膜を低反射2層・単層・3層のクロムから選べるガラスマスクです。
Q.クロムガラスマスクの強みは？
クロムガラスマスクの最小ラインは2μmで、700×800mmまで作れます。人工石英を選ぶと、露光中の温度変化で寸法が動きにくくなります。
Q.クロムガラスマスクはどんな方式？
クロムガラスマスクの種類は大型クロムマスク（FPD・基板用）⁠で⁠す⁠。10インチを超える大きなガラスにクロムで描いたマスクで、液晶・有機ELのパネルやプリント基板に使います。
Q.クロムガラスマスクの主な仕様は？
クロムガラスマスクの品種は低反射2層クロム、単層クロム、3層クロム、基板はソーダライム、人工石英です。基板サイズは〜700×800mm、厚み1.0〜5.0mm、最小線幅は2μm〜⁠⁠⁠です。
Q.クロムガラスマスクと大版フォトマスク（10〜32インチ）はどっちがいい？
MEMS・WLP・パネル用の高精細ならクロムガラスマスク、基板・パネル用の10インチ超なら日本フイルコンの大版フォトマスク（10〜32インチ）⁠で⁠す⁠。クロムガラスマスクの品種は低反射2層クロム、単層クロム、3層クロム、基板はソーダライム、人工石英です。日本フイルコンの大版フォトマスク（10〜32インチ）の基板は石英、ソーダライム、基板サイズは10×10〜32×32インチ、最大813mm×813mmです。
Q.クロムガラスマスクの線幅精度は？
クロムガラスマスクの線幅精度は短寸法±0.2μm〜です。日本フイルコンの大版フォトマスク（10〜32インチ）の線幅精度は±0.3μm〜⁠⁠⁠です。
Q.クロムガラスマスクの位置精度は？
クロムガラスマスクの位置精度は長寸法±0.5μm〜です。日本フイルコンの大版フォトマスク（10〜32インチ）の位置精度はトータルピッチ±0.4μm〜です。
Q.クロムガラスマスクと大型クロムマスク（1400×1500mm）はどっちがいい？
MEMS・WLP・パネル用の高精細ならクロムガラスマスク、大型パネル用の1400×1500mmならメッシュの大型クロムマスク（1400×1500mm）で⁠す⁠。クロムガラスマスクの品種は低反射2層クロム、単層クロム、3層クロム、基板はソーダライム、人工石英です。メッシュの大型クロムマスク（1400×1500mm）の品種はクロムマスク、基板はソーダライムガラス、合成石英です。
Q.クロムガラスマスクのほかに竹田東京プロセスサービスのフォトマスクはある？
あります。竹田東京プロセスサービスのフォトマスクには、クロムガラスマスクのほかにエマルジョンガラスマスク（品種は銀塩ゼラチン乳剤）があります。
Q.クロムガラスマスクはどこのメーカー？
クロムガラスマスクは竹田東京プロセスサービス株式会社の製品です。スクリーンマスク・フォトマスク・メタルマスクを設計・製造し、2026年に本社を東京都品川区へ移した。

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    出典
    1. 竹田東京プロセスサービス株式会社 公式
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