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フォトマスク小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）

クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）

株式会社エクア

エクアのクロムマスク（小サイズ）。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
向いている所
228.6mm角までの小型・高精度
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）は、フォトマスクのメーカー9社比較⁠の種類が小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）の4製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 4製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）​の強みと方式

レーザー描画で作る小型のクロムマスクで、最小線幅は1μm、線幅精度は±0.1μmから選べます。基板は228.6mm角までで、合成石英とソーダライムがあります。濃度や透過率を変えたグラデーションのパターンも設計します。

向いている所228.6mm角までの小型・高精度

種類：小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）

石英やソーダライムのガラスに、クロムで回路を描いた9インチまでのマスクです。ステッパー・スキャナー用のレチクルと、アライナーで一括に写すマスクがあります。細かい線が描け、日本フイルコンのレチクルは最小寸法0.5μmからです。

クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）​の仕様

種類
小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
品種
低反射二層クロム（光学濃度3.0OD）
基板
合成石英、ソーダライム
基板サイズ
最大228.6×228.6mm
最小線幅
1μm
線幅精度
±0.1・±0.3・±0.5・±1.0μm
価格
—公式資料で確認できず
描画エリア
212.8×212.8mm
位置精度
—公式資料で確認できず
主な用途
—公式資料で確認できず

大サイズのクロムマスク（711×813mm・最小線幅2μm）もある。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）株式会社エクア各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）テクセンドフォトマスク株式会社9インチから700×800mmまでのクロムマスク東洋精密工業株式会社
種類小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
品種低反射二層クロム（光学濃度3.0OD）—公式資料で確認できずクロムマスク
基板合成石英、ソーダライム合成石英、厚み0.09〜0.25インチソーダライムガラス、合成石英
基板サイズ最大228.6×228.6mm5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）〜9インチ、10インチ〜700×800mm
最小線幅1μm—公式資料で確認できず1.0μm〜
線幅精度±0.1・±0.3・±0.5・±1.0μm—公式資料で確認できず±0.1μm〜
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
描画エリア212.8×212.8mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
位置精度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずピッチ±1.0μm〜
主な用途—公式資料で確認できずMEMS、ICバンプ、半導体パッケージ、マイクロレンズアレイ半導体素子、パッケージ、ディスプレイ、MEMSセンサ

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クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）​のよくある質問

Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）はどんな人に向いている？
クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）は、228.6mm角までの小型・高精度に使う人向けです。クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）は、レーザー描画で作る小型のクロムマスクで、最小線幅は1μm、線幅精度は±0.1μmから選べます。
Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の強みは？
クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の基板は228.6mm角までで、合成石英とソーダライムがあります。濃度や透過率を変えたグラデーションのパターンも設計します。
Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）はどんな方式？
クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の種類は小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）で⁠す⁠。石英やソーダライムのガラスに、クロムで回路を描いた9インチまでのマスクです。
Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の主な仕様は？
クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の品種は低反射二層クロム（光学濃度3.0OD）、基板は合成石英、ソーダライムです。基板サイズは最大228.6×228.6mm、最小線幅は1μmです。
Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）と各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）はどっちがいい？
228.6mm角までの小型・高精度ならクロムマスク 小サイズ（228.6mm角）、MEMS・パッケージ用の石英マスクならテクセンドフォトマスクの各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）⁠で⁠す⁠。クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の品種は低反射二層クロム（光学濃度3.0OD）、基板は合成石英、ソーダライムです。テクセンドフォトマスクの各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の基板は合成石英、厚み0.09〜0.25インチ、基板サイズは5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の線幅精度は？
クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の線幅精度は±0.1・±0.3・±0.5・±1.0μmです。東洋精密工業の9インチから700×800mmまでのクロムマスクの線幅精度は±0.1μm〜⁠⁠⁠です。
Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）と9インチから700×800mmまでのクロムマスクはどっちがいい？
228.6mm角までの小型・高精度ならクロムマスク 小サイズ（228.6mm角）、試作の小ロットを短納期でなら東洋精密工業の9インチから700×800mmまでのクロムマスクです。クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）の品種は低反射二層クロム（光学濃度3.0OD）、基板は合成石英、ソーダライムです。東洋精密工業の9インチから700×800mmまでのクロムマスクの品種はクロムマスク、基板はソーダライムガラス、合成石英です。
Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）のほかにエクアのフォトマスクはある？
あります。エクアのフォトマスクには、クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）のほかにフィルムマスク（2300×1506mm）（品種は写真銀塩乳剤）があります。
Q.クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）はどこのメーカー？
クロムマスク 小サイズ（228.6mm角）は株式会社エクアの製品です。フォトマスク・精密薄膜製品・光学部品・精密金属部品を作る。

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