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フォトマスク小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）

各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）

テクセンドフォトマスク株式会社

テクセンドフォトマスクの各種用途向けフォトマスク。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
向いている所
MEMS・パッケージ用の石英マスク
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比較表での位置

各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）は、フォトマスクのメーカー9社比較⁠の種類が小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）の4製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 4製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）​の強みと方式

半導体用フォトマスクの技術で、MEMSやパッケージ向けの石英マスクを作ります。基板は5インチ角と6インチ角の合成石英で、ペリクルも貼れます。GDSやガーバーのデータのほか、図面からも作れます。

向いている所MEMS・パッケージ用の石英マスク

種類：小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）

石英やソーダライムのガラスに、クロムで回路を描いた9インチまでのマスクです。ステッパー・スキャナー用のレチクルと、アライナーで一括に写すマスクがあります。細かい線が描け、日本フイルコンのレチクルは最小寸法0.5μmからです。

各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）​の仕様

種類
小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
品種
—公式資料で確認できず
基板
合成石英、厚み0.09〜0.25インチ
基板サイズ
5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）
最小線幅
—公式資料で確認できず
線幅精度
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
描画エリア
—公式資料で確認できず
位置精度
—公式資料で確認できず
主な用途
MEMS、ICバンプ、半導体パッケージ、マイクロレンズアレイ

テストチャートマスクと3Dマスク（グレースケールマスク）も同じページで案内している。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）テクセンドフォトマスク株式会社9インチから700×800mmまでのクロムマスク東洋精密工業株式会社半導体用レチクル（5・6インチ）日本フイルコン株式会社
種類小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）
品種—公式資料で確認できずクロムマスク2層クロム（バイナリー）
基板合成石英、厚み0.09〜0.25インチソーダライムガラス、合成石英石英
基板サイズ5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）〜9インチ、10インチ〜700×800mm5×5×0.09インチ、6×6×0.25インチ
最小線幅—公式資料で確認できず1.0μm〜0.5μm〜
線幅精度—公式資料で確認できず±0.1μm〜±0.05μm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
描画エリア—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
位置精度—公式資料で確認できずピッチ±1.0μm〜±0.05μm
主な用途MEMS、ICバンプ、半導体パッケージ、マイクロレンズアレイ半導体素子、パッケージ、ディスプレイ、MEMSセンサディスクリート、パワーデバイス、ASIC、マイコン

フォトマスクの14製品を比較表で見る

各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）​のよくある質問

Q.各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）はどんな人に向いている？
各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）は、MEMS・パッケージ用の石英マスクに使う人向けです。各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）は、半導体用フォトマスクの技術で、MEMSやパッケージ向けの石英マスクを作ります。
Q.各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の強みは？
各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の基板は5インチ角と6インチ角の合成石英で、ペリクルも貼れます。GDSやガーバーのデータのほか、図面からも作れます。
Q.各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）はどんな方式？
各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の種類は小型クロムマスク（レチクル・9インチまで）で⁠す⁠。石英やソーダライムのガラスに、クロムで回路を描いた9インチまでのマスクです。
Q.各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の主な仕様は？
各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の基板は合成石英、厚み0.09〜0.25インチ、基板サイズは5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）⁠で⁠す⁠。主な用途はMEMS、ICバンプ、半導体パッケージ、マイクロレンズアレイです。
Q.各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）と9インチから700×800mmまでのクロムマスクはどっちがいい？
MEMS・パッケージ用の石英マスクなら各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）、試作の小ロットを短納期でなら東洋精密工業の9インチから700×800mmまでのクロムマスクです。各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の基板は合成石英、厚み0.09〜0.25インチ、基板サイズは5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）⁠で⁠す⁠。東洋精密工業の9インチから700×800mmまでのクロムマスクの品種はクロムマスク、基板はソーダライムガラス、合成石英です。
Q.各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）と半導体用レチクル（5・6インチ）はどっちがいい？
MEMS・パッケージ用の石英マスクなら各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）、パワー半導体・ASICのステッパー用なら日本フイルコンの半導体用レチクル（5・6インチ）⁠で⁠す⁠。各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）の基板は合成石英、厚み0.09〜0.25インチ、基板サイズは5インチ角（127.0mm）、6インチ角（152.4mm）⁠で⁠す⁠。日本フイルコンの半導体用レチクル（5・6インチ）の品種は2層クロム（バイナリー）、基板は石英です。
Q.各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）のほかにテクセンドフォトマスクのフォトマスクはある？
あります。テクセンドフォトマスクのフォトマスクには、各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）のほかにナノインプリント用石英モールド 6025（基板は石英）があります。
Q.各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）はどこのメーカー？
各種用途向けフォトマスク（5・6インチ）はテクセンドフォトマスク株式会社の製品です。TOPPANグループのフォトマスク事業を母体に、フォトマスクの製造・販売を行う。

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    1. テクセンドフォトマスク株式会社 公式
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