GUIDE / PHOTOMASK

フォトマスクとは？半導体・液晶・プリント基板の回路を写す原版の種類（クロム・エマルジョン・フィルム・ナノインプリント）と、サイズ・線幅・価格の選び方

半導体・ディスプレイ・プリント基板・MEMSの露光で回路のパターンを写すフォトマスクの4つの種類、クロムマスクとフィルムマスクの違い、石英とソーダライムの違い、サイズと最小線幅、価格の決まり方を、メーカーの公式資料をもとにまとめました。

2026年11月1日更新

この記事の答え

フォトマスクは、半導体や液晶パネル、プリント基板の回路を、光で写すための原版です。ステッパーで使うものはレチクルとも呼びます。大きさと遮光膜で、小型クロムマスク・大型クロムマスク・フィルムとエマルジョンのマスク・ナノインプリント用の型に分かれます。選ぶときは「基板の大きさ」「最小線幅と精度」「石英かソーダライムか」の3つを先に決めます。

フォトマスクとは

フォトマスクは、ガラスやフィルムの上に、光を通す所と通さない所で回路のパターンを作った原版です。露光装置でこのパターンを、ウェハやガラス基板、プリント基板に写します。日本フイルコンの解説では、電子デバイス・ディスプレイ・プリント基板・MEMSを作るときのパターニングの原版です。

比較ページには、日本の会社が自社で作るフォトマスクを、品種の単位で載せています。材料のマスクブランクス、感光材のフォトレジスト、印刷用のメタルマスクは載せていません。

4つの種類

小型クロムマスクは、9インチまでのガラスにクロムで描いたマスクです。例は日本フイルコンの半導体用レチクル、テクセンドフォトマスクの各種用途向けフォトマスク、東洋精密工業とエクアのクロムマスクです
大型クロムマスクは、10インチを超えるガラスにクロムで描いたマスクです。例はエスケーエレクトロニクスのFPD用大型フォトマスク、日本フイルコンの大版フォトマスク、メッシュの大型クロムマスク、竹田東京プロセスサービスのクロムガラスマスクです
フィルムとエマルジョンのマスクは、銀塩の乳剤でパターンを作るマスクです。例はメッシュとエクアのフィルムマスク、竹田東京プロセスサービスのエマルジョンガラスマスクです
ナノインプリント用の型と3Dマスクは、型押しや立体の形を作るための原版です。例はテクセンドフォトマスクの石英モールド、大日本印刷のマスター金型、コシブ精密のフォトマスク3Dです