めっき装置のメーカー7社比較【2026年】

載せた製品で、値段を公式に出しているものはありません。中央製作所のアイシーキャリアや山本鍍金試験器のA-52のように、処理物や治具に合わせて作る受注生産が多いため、仕様を決めて見積もりを取ります。

流し方で4つに分かれます。部品や基板を自動で流す量産ライン、ウエハを全自動でめっきするウエハ用、無電解めっきをまとめて回すバッチ式、試作と実験に使う研究開発用です。

電解めっきは電気を流して金属を付け、無電解めっきは液の化学反応で付けます。無電解の装置は、友藍サイエンスのELPS-UBMや奥野製薬工業のTORYZA EL SYSTEMのように、ウエハ50枚をまとめて浸すバッチ式があります。

東設のTEAM-FUは4・6・8・12インチ、EEJAテクノロジーズのPOSFER Cは4・5・6・8インチ、友藍サイエンスのSKY LANEは3〜8インチです。無電解の奥野製薬工業のTORYZA EL SYSTEMは6・8・12インチです。

友藍サイエンスのSKY LANEは4〜8チャンバで、Cuめっきなら月約8,000枚、Auめっきなら月約4,000枚です。EEJAテクノロジーズのPOSFER Cは、めっきのカップを2カップ単位で足せます。

東設のTEAM-FUは磁性材料・Cu・Ni・Au・SnAg・Rh、友藍サイエンスのSKY LANEはCu・Ni・Au・Snです。無電解の友藍サイエンスのELPS-UBMはNi・Pd・Auを積みます。

中央製作所のアイシーキャリアは、ラック用とバレル用のキャリヤを選べる全自動のラインです。バレルあたり40〜80kgを入れ、キャリヤは500mm/sで走ります。

山本鍍金試験器のA-52は、2〜8inchのウェハやガラス・SiC・GaAs・InPの基板を試す実験装置です。EEJAテクノロジーズの手動めっき装置は2〜8インチのウエハに使え、カップは最大26カップまで増やせます。

中央製作所のアイシーキャリアは処理内容を7,000種類まで持ち、工程の選択とプログラムの変更で切り替えます。EEJAテクノロジーズの手動めっき装置は管理槽を分けると、1台で複数のめっき液を使い分けられます。

友藍サイエンスのELPS-UBMはSiC・GaAs・GaN・サファイア、SKY LANEはGaAs・GaNのウェーハにも使えます。山本鍍金試験器のA-52もSiC・GaAs・InPの基板に使えます。

めっき液は使うほど金属の量や添加剤の濃さが変わります。上村工業は、液の状態を分析して薬品の補給を促すめっき液管理装置を、めっき装置と一緒に作っています。