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めっき装置ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）

ウエハめっき装置 TEAM-FU

株式会社東設

磁性膜とTSV・RDLに使うフェイスアップ式の全自動ウエハめっき装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
向いている所
磁性膜・先端パッケージの配線
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比較表での位置

ウエハめっき装置 TEAM-FUは、めっき装置のメーカー7社比較⁠の種類がウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
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  • 3製品同じ種類
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ウエハめっき装置 TEAM-FU​の強みと方式

ウエハの面を上に向けてめっきするフェイスアップ式で、パーマロイなどの磁性合金膜も組成をそろえて付けられます。12インチまでのウエハをカセットからカセットへ自動で流せます。腐食性の高いめっき膜にも使えます。

向いている所磁性膜・先端パッケージの配線

種類：ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）

半導体のウエハを、カセットから取り出してめっき・洗浄・乾燥まで自動で進める装置です。ウエハの面をカップやチャンバに当てて電気めっきを付けます。バンプや再配線、TSVなどの配線づくりに使います。

ウエハめっき装置 TEAM-FU​の仕様

種類
ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
方式
フェイスアップ式の全自動
処理物
ウエハ4・6・8・12インチ
めっきの種類
磁性材料、Cu、Ni、Au、SnAg、Rh
処理能力
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
用途・材質
TSV、RDL、マイクロバンプ
特長
膜厚の面内均一性、合金の組成安定性

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウエハめっき装置 TEAM-FU株式会社東設ウェーハめっきシステム SKY LANE友藍サイエンス株式会社ウエハめっき装置 POSFER CEEJAテクノロジーズ株式会社
種類ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
方式フェイスアップ式の全自動全自動、スカラロボット搬送大量生産向けフルオート
処理物ウエハ4・6・8・12インチウェーハ3・4・5・6・8インチウエハ4・5・6・8インチ
めっきの種類磁性材料、Cu、Ni、Au、SnAg、⁠⁠⁠⁠⁠⁠RhCu、Ni、Au、⁠⁠⁠⁠⁠⁠Sn—公式資料で確認できず
処理能力—公式資料で確認できず4〜8チャンバ、月約4,000枚（Au）⁠・約8,000枚（Cu）カップ数を2カップ単位で増設
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途・材質TSV、RDL、マイクロバンプシリコン・GaAs・GaNウェーハバンプ、再配線、W-CSP、MEMS
特長膜厚の面内均一性、合金の組成安定性生産レシピ・記録・録画、カソードコンタクト洗浄スピンリンサードライヤー、リングカソード

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ウエハめっき装置 TEAM-FU​のよくある質問

Q.ウエハめっき装置 TEAM-FUはどんな人に向いている？
ウエハめっき装置 TEAM-FUは、磁性膜・先端パッケージの配線に使う人向けです。ウエハめっき装置 TEAM-FUは、ウエハの面を上に向けてめっきするフェイスアップ式で、パーマロイなどの磁性合金膜も組成をそろえて付けられます。
Q.ウエハめっき装置 TEAM-FUの強みは？
ウエハめっき装置 TEAM-FUは、12インチまでのウエハをカセットからカセットへ自動で流せます。腐食性の高いめっき膜にも使えます。
Q.ウエハめっき装置 TEAM-FUはどんな方式？
ウエハめっき装置 TEAM-FUの種類はウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）で⁠す⁠。半導体のウエハを、カセットから取り出してめっき・洗浄・乾燥まで自動で進める装置です。
Q.ウエハめっき装置 TEAM-FUの主な仕様は？
ウエハめっき装置 TEAM-FUの方式はフェイスアップ式の全自動、処理物はウエハ4・6・8・12インチです。めっきの種類は磁性材料、Cu、Ni、Au、SnAg、Rh、用途・材質はTSV、RDL、マイクロバンプです。
Q.ウエハめっき装置 TEAM-FUとウェーハめっきシステム SKY LANEはどっちがいい？
磁性膜・先端パッケージの配線ならウエハめっき装置 TEAM-FU、化合物半導体ウェーハの量産なら友藍サイエンスのウェーハめっきシステム SKY LANEです。ウエハめっき装置 TEAM-FUの方式はフェイスアップ式の全自動、処理物はウエハ4・6・8・12インチです。友藍サイエンスのウェーハめっきシステム SKY LANEの方式は全自動、スカラロボット搬送、処理物はウェーハ3・4・5・6・8インチです。
Q.ウエハめっき装置 TEAM-FUの特長は？
ウエハめっき装置 TEAM-FUの特長は膜厚の面内均一性、合金の組成安定性です。友藍サイエンスのウェーハめっきシステム SKY LANEの特長は生産レシピ・記録・録画、カソードコンタクト洗浄です。
Q.ウエハめっき装置 TEAM-FUとウエハめっき装置 POSFER Cはどっちがいい？
磁性膜・先端パッケージの配線ならウエハめっき装置 TEAM-FU、バンプ・再配線のウエハ量産ならEEJAテクノロジーズのウエハめっき装置 POSFER Cです。ウエハめっき装置 TEAM-FUの方式はフェイスアップ式の全自動、処理物はウエハ4・6・8・12インチです。EEJAテクノロジーズのウエハめっき装置 POSFER Cの方式は大量生産向けフルオート、処理物はウエハ4・5・6・8インチです。
Q.ウエハめっき装置 TEAM-FUはどこのメーカー？
ウエハめっき装置 TEAM-FUは株式会社東設の製品です。ウェットプロセス装置の設計開発・製造販売を行い、めっき装置・排ガス除害装置・脱気システムを作る会社です。

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