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めっき装置ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）

ウエハめっき装置 POSFER C

EEJAテクノロジーズ株式会社

4〜8インチのウエハを全自動でめっきするカップ式の量産機。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
向いている所
バンプ・再配線のウエハ量産
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比較表での位置

ウエハめっき装置 POSFER Cは、めっき装置のメーカー7社比較⁠の種類がウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
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ウエハめっき装置 POSFER C​の強みと方式

クローズドカップでウエハをめっきする量産向けの全自動機です。めっきのカップは2カップ単位で足せるので、生産量に合わせて広げられます。スピンリンサードライヤーを積み、乾いたウエハを入れて乾いたまま取り出せます。

向いている所バンプ・再配線のウエハ量産

種類：ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）

半導体のウエハを、カセットから取り出してめっき・洗浄・乾燥まで自動で進める装置です。ウエハの面をカップやチャンバに当てて電気めっきを付けます。バンプや再配線、TSVなどの配線づくりに使います。

ウエハめっき装置 POSFER C​の仕様

種類
ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
方式
大量生産向けフルオート
処理物
ウエハ4・5・6・8インチ
めっきの種類
—公式資料で確認できず
処理能力
カップ数を2カップ単位で増設
価格
—公式資料で確認できず
用途・材質
バンプ、再配線、W-CSP、MEMS
特長
スピンリンサードライヤー、リングカソード

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウエハめっき装置 POSFER CEEJAテクノロジーズ株式会社ウエハめっき装置 TEAM-FU株式会社東設ウェーハめっきシステム SKY LANE友藍サイエンス株式会社
種類ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
方式大量生産向けフルオートフェイスアップ式の全自動全自動、スカラロボット搬送
処理物ウエハ4・5・6・8インチウエハ4・6・8・12インチウェーハ3・4・5・6・8インチ
めっきの種類—公式資料で確認できず磁性材料、Cu、Ni、Au、SnAg、⁠⁠⁠⁠⁠⁠RhCu、Ni、Au、⁠⁠⁠⁠⁠⁠Sn
処理能力カップ数を2カップ単位で増設—公式資料で確認できず4〜8チャンバ、月約4,000枚（Au）⁠・約8,000枚（Cu）
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途・材質バンプ、再配線、W-CSP、MEMSTSV、RDL、マイクロバンプシリコン・GaAs・GaNウェーハ
特長スピンリンサードライヤー、リングカソード膜厚の面内均一性、合金の組成安定性生産レシピ・記録・録画、カソードコンタクト洗浄

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ウエハめっき装置 POSFER C​のよくある質問

Q.ウエハめっき装置 POSFER Cはどんな人に向いている？
ウエハめっき装置 POSFER Cは、バンプ・再配線のウエハ量産に使う人向けです。ウエハめっき装置 POSFER Cは、クローズドカップでウエハをめっきする量産向けの全自動機です。
Q.ウエハめっき装置 POSFER Cの強みは？
めっきのカップは2カップ単位で足せるので、生産量に合わせて広げられます。スピンリンサードライヤーを積み、乾いたウエハを入れて乾いたまま取り出せます。
Q.ウエハめっき装置 POSFER Cはどんな方式？
ウエハめっき装置 POSFER Cの種類はウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）で⁠す⁠。半導体のウエハを、カセットから取り出してめっき・洗浄・乾燥まで自動で進める装置です。
Q.ウエハめっき装置 POSFER Cの主な仕様は？
ウエハめっき装置 POSFER Cの方式は大量生産向けフルオート、処理物はウエハ4・5・6・8インチです。処理能力はカップ数を2カップ単位で増設、用途・材質はバンプ、再配線、W-CSP、MEMSです。
Q.ウエハめっき装置 POSFER Cとウエハめっき装置 TEAM-FUはどっちがいい？
バンプ・再配線のウエハ量産ならウエハめっき装置 POSFER C、磁性膜・先端パッケージの配線なら東設のウエハめっき装置 TEAM-FUです。ウエハめっき装置 POSFER Cの方式は大量生産向けフルオート、処理物はウエハ4・5・6・8インチです。東設のウエハめっき装置 TEAM-FUの方式はフェイスアップ式の全自動、処理物はウエハ4・6・8・12インチです。
Q.ウエハめっき装置 POSFER Cの特長は？
ウエハめっき装置 POSFER Cの特長はスピンリンサードライヤー、リングカソードです。東設のウエハめっき装置 TEAM-FUの特長は膜厚の面内均一性、合金の組成安定性です。
Q.ウエハめっき装置 POSFER Cとウェーハめっきシステム SKY LANEはどっちがいい？
バンプ・再配線のウエハ量産ならウエハめっき装置 POSFER C、化合物半導体ウェーハの量産なら友藍サイエンスのウェーハめっきシステム SKY LANEです。ウエハめっき装置 POSFER Cの方式は大量生産向けフルオート、処理物はウエハ4・5・6・8インチです。友藍サイエンスのウェーハめっきシステム SKY LANEの方式は全自動、スカラロボット搬送、処理物はウェーハ3・4・5・6・8インチです。
Q.ウエハめっき装置 POSFER CのほかにEEJAテクノロジーズのめっき装置はある？
あります。EEJAテクノロジーズのめっき装置には、ウエハめっき装置 POSFER Cのほかにウエハ用 手動めっき装置（方式は手動）があります。
Q.ウエハめっき装置 POSFER Cはどこのメーカー？
ウエハめっき装置 POSFER CはEEJAテクノロジーズ株式会社の製品です。EEJAテクノロジーズの主な製品分野はめっき装置です。

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    めっき装置

    ウエハめっき装置 TEAM-FU

    株式会社東設

    ウエハの面を上に向けてめっきするフェイスアップ式で、パーマロイなどの磁性合金膜も組成をそろえて付けられます。

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    出典
    1. EEJAテクノロジーズ株式会社 公式
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