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めっき装置無電解めっきのバッチ式

無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEM

奥野製薬工業株式会社

12インチまでのウエハにUBMを無電解で付けるバッチ式の装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
無電解めっきのバッチ式
向いている所
パワー半導体のUBMを量産
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比較表での位置

無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMは、めっき装置のメーカー7社比較⁠の種類「無電解めっきのバッチ式」の2製品の1つとして載っています。

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無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEM​の強みと方式

めっき薬品のメーカーが、自社の無電解めっきプロセスに合わせて設計した装置です。12インチウエハを1回に最大50枚まで運べます。クリーンルームのクラス1000で使え、生産の様子を自動で録画します。

向いている所パワー半導体のUBMを量産

種類：無電解めっきのバッチ式

電気を流さず、液の化学反応で金属を付ける無電解めっきを、ウエハをまとめて浸して回す装置です。キャリアに25枚ずつ入れ、1回に50枚を運びます。パワー半導体などのUBM（電極の下地）づくりに使います。

無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEM​の仕様

種類
無電解めっきのバッチ式
方式
キャリアバスケットのバッチ搬送
処理物
ウエハ6・8・12インチ
めっきの種類
UBM形成用の無電解めっき
処理能力
1回最大50枚
価格
—公式資料で確認できず
用途・材質
パワー半導体のUBM形成
特長
クリーンルーム クラス1000、生産監視の自動録画

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEM奥野製薬工業株式会社UBM無電解めっきシステム ELPS-UBM友藍サイエンス株式会社ウエハ用 手動めっき装置EEJAテクノロジーズ株式会社
種類無電解めっきのバッチ式無電解めっきのバッチ式研究開発・試作用
方式キャリアバスケットのバッチ搬送全自動、25枚×2キャリアのラック搬送手動
処理物ウエハ6・8・12インチウェーハ6・8・12インチウエハ2・3・4・5・6・8インチ
めっきの種類UBM形成用の無電解めっきNi・Pd・Au—公式資料で確認できず
処理能力1回最大50枚1回50枚最大26カップ
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途・材質パワー半導体のUBM形成SiC、Al、GaAs、GaN、サファイアバンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS
特長クリーンルーム クラス1000、生産監視の自動録画スピンドライヤ、オンライン通信管理槽を分けて複数のめっき液を使える

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無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEM​のよくある質問

Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMはどんな人に向いている？
無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMは、パワー半導体のUBMを量産に使う人向けです。無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMは、めっき薬品のメーカーが、自社の無電解めっきプロセスに合わせて設計した装置です。
Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの強みは？
無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMは、12インチウエハを1回に最大50枚まで運べます。クリーンルームのクラス1000で使え、生産の様子を自動で録画します。
Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMはどんな方式？
無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの種類は無電解めっきのバッチ式です。電気を流さず、液の化学反応で金属を付ける無電解めっきを、ウエハをまとめて浸して回す装置です。
Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの主な仕様は？
無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの方式はキャリアバスケットのバッチ搬送、処理物はウエハ6・8・12インチです。めっきの種類はUBM形成用の無電解めっき、処理能力は1回最大50枚です。
Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMとUBM無電解めっきシステム ELPS-UBMはどっちがいい？
パワー半導体のUBMを量産なら無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEM、SiCなどのUBMをまとめて形成なら友藍サイエンスのUBM無電解めっきシステム ELPS-UBMです。無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの方式はキャリアバスケットのバッチ搬送、処理物はウエハ6・8・12インチです。友藍サイエンスのUBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの方式は全自動、25枚×2キャリアのラック搬送、処理物はウェーハ6・8・12インチです。
Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの用途・材質は？
無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの用途・材質はパワー半導体のUBM形成です。友藍サイエンスのUBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの用途・材質はSiC、Al、GaAs、GaN、サファイアです。
Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの特長は？
無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの特長はクリーンルーム クラス1000、生産監視の自動録画です。友藍サイエンスのUBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの特長はスピンドライヤ、オンライン通信です。
Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMとウエハ用 手動めっき装置はどっちがいい？
パワー半導体のUBMを量産なら無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEM、ウエハめっきの試作と少量生産ならEEJAテクノロジーズのウエハ用 手動めっき装置です。無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの方式はキャリアバスケットのバッチ搬送、処理物はウエハ6・8・12インチです。EEJAテクノロジーズのウエハ用 手動めっき装置の方式は手動、処理物はウエハ2・3・4・5・6・8インチです。
Q.無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMはどこのメーカー？
無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMは奥野製薬工業株式会社の製品です。めっき薬品を開発する表面処理の会社で、半導体後工程向けの無電解めっき装置も開発しています。

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