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めっき装置無電解めっきのバッチ式

UBM無電解めっきシステム ELPS-UBM

友藍サイエンス株式会社

6〜12インチのウェーハにUBMを無電解で付ける全自動システム。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
無電解めっきのバッチ式
向いている所
SiCなどのUBMをまとめて形成
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比較表での位置

UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMは、めっき装置のメーカー7社比較⁠の種類「無電解めっきのバッチ式」の2製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 2製品同じ種類
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UBM無電解めっきシステム ELPS-UBM​の強みと方式

電気を流さずにNi・Pd・Auを積む無電解めっきを、ウェーハ50枚まとめて回す全自動機です。12インチまで使え、SiCやGaN、サファイアのウェーハにも載せられます。スピンドライヤはライン内にも外にも置けます。

向いている所SiCなどのUBMをまとめて形成

種類：無電解めっきのバッチ式

電気を流さず、液の化学反応で金属を付ける無電解めっきを、ウエハをまとめて浸して回す装置です。キャリアに25枚ずつ入れ、1回に50枚を運びます。パワー半導体などのUBM（電極の下地）づくりに使います。

UBM無電解めっきシステム ELPS-UBM​の仕様

種類
無電解めっきのバッチ式
方式
全自動、25枚×2キャリアのラック搬送
処理物
ウェーハ6・8・12インチ
めっきの種類
Ni・Pd・Au
処理能力
1回50枚
価格
—公式資料で確認できず
用途・材質
SiC、Al、GaAs、GaN、サファイア
特長
スピンドライヤ、オンライン通信

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

UBM無電解めっきシステム ELPS-UBM友藍サイエンス株式会社無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEM奥野製薬工業株式会社ウエハ用 手動めっき装置EEJAテクノロジーズ株式会社
種類無電解めっきのバッチ式無電解めっきのバッチ式研究開発・試作用
方式全自動、25枚×2キャリアのラック搬送キャリアバスケットのバッチ搬送手動
処理物ウェーハ6・8・12インチウエハ6・8・12インチウエハ2・3・4・5・6・8インチ
めっきの種類Ni・Pd・AuUBM形成用の無電解めっき—公式資料で確認できず
処理能力1回50枚1回最大50枚最大26カップ
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途・材質SiC、Al、GaAs、GaN、サファイアパワー半導体のUBM形成バンプ、ビア、再配線、WLP、MEMS
特長スピンドライヤ、オンライン通信クリーンルーム クラス1000、生産監視の自動録画管理槽を分けて複数のめっき液を使える

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UBM無電解めっきシステム ELPS-UBM​のよくある質問

Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMはどんな人に向いている？
UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMは、SiCなどのUBMをまとめて形成に使う人向けです。UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMは、電気を流さずにNi・Pd・Auを積む無電解めっきを、ウェーハ50枚まとめて回す全自動機です。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの強みは？
UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMは、12インチまで使え、SiCやGaN、サファイアのウェーハにも載せられます。スピンドライヤはライン内にも外にも置けます。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMはどんな方式？
UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの種類は無電解めっきのバッチ式です。電気を流さず、液の化学反応で金属を付ける無電解めっきを、ウエハをまとめて浸して回す装置です。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの主な仕様は？
UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの方式は全自動、25枚×2キャリアのラック搬送、処理物はウェーハ6・8・12インチです。めっきの種類はNi・Pd・Au、処理能力は1回50枚です。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMと無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMはどっちがいい？
SiCなどのUBMをまとめて形成ならUBM無電解めっきシステム ELPS-UBM、パワー半導体のUBMを量産なら奥野製薬工業の無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMです。UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの方式は全自動、25枚×2キャリアのラック搬送、処理物はウェーハ6・8・12インチです。奥野製薬工業の無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの方式はキャリアバスケットのバッチ搬送、処理物はウエハ6・8・12インチです。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの用途・材質は？
UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの用途・材質はSiC、Al、GaAs、GaN、サファイアです。奥野製薬工業の無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの用途・材質はパワー半導体のUBM形成です。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの特長は？
UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの特長はスピンドライヤ、オンライン通信です。奥野製薬工業の無電解めっき装置 TORYZA EL SYSTEMの特長はクリーンルーム クラス1000、生産監視の自動録画です。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMとウエハ用 手動めっき装置はどっちがいい？
SiCなどのUBMをまとめて形成ならUBM無電解めっきシステム ELPS-UBM、ウエハめっきの試作と少量生産ならEEJAテクノロジーズのウエハ用 手動めっき装置です。UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMの方式は全自動、25枚×2キャリアのラック搬送、処理物はウェーハ6・8・12インチです。EEJAテクノロジーズのウエハ用 手動めっき装置の方式は手動、処理物はウエハ2・3・4・5・6・8インチです。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMのほかに友藍サイエンスのめっき装置はある？
あります。友藍サイエンスのめっき装置には、UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMのほかにウェーハめっきシステム SKY LANE（方式は全自動、スカラロボット搬送⁠）⁠があります。
Q.UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMはどこのメーカー？
UBM無電解めっきシステム ELPS-UBMは友藍サイエンス株式会社の製品です。めっき装置・表面処理装置・半導体装置・自動装置の設計・製作・販売を行う会社です。

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    出典
    1. 友藍サイエンス株式会社 公式
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