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めっき装置ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）

ウェーハめっきシステム SKY LANE

友藍サイエンス株式会社

3〜8インチのウェーハをチャンバ式で全自動めっきするシステム。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
向いている所
化合物半導体ウェーハの量産
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比較表での位置

ウェーハめっきシステム SKY LANEは、めっき装置のメーカー7社比較⁠の種類がウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
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ウェーハめっきシステム SKY LANE​の強みと方式

フェイスダウンのチャンバを4〜8個並べ、走行式のスカラロボットでウェーハを運ぶ全自動機です。Cuめっきなら月約8,000枚、Auめっきなら月約4,000枚を流せます。シリコンのほかGaAs・GaNのウェーハにも使えます。

向いている所化合物半導体ウェーハの量産

種類：ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）

半導体のウエハを、カセットから取り出してめっき・洗浄・乾燥まで自動で進める装置です。ウエハの面をカップやチャンバに当てて電気めっきを付けます。バンプや再配線、TSVなどの配線づくりに使います。

ウェーハめっきシステム SKY LANE​の仕様

種類
ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
方式
全自動、スカラロボット搬送
処理物
ウェーハ3・4・5・6・8インチ
めっきの種類
Cu、Ni、Au、Sn
処理能力
4〜8チャンバ、月約4,000枚（Au）⁠・約8,000枚（Cu）
価格
—公式資料で確認できず
用途・材質
シリコン・GaAs・GaNウェーハ
特長
生産レシピ・記録・録画、カソードコンタクト洗浄

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ウェーハめっきシステム SKY LANE友藍サイエンス株式会社ウエハめっき装置 POSFER CEEJAテクノロジーズ株式会社ウエハめっき装置 TEAM-FU株式会社東設
種類ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）ウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）
方式全自動、スカラロボット搬送大量生産向けフルオートフェイスアップ式の全自動
処理物ウェーハ3・4・5・6・8インチウエハ4・5・6・8インチウエハ4・6・8・12インチ
めっきの種類Cu、Ni、Au、⁠⁠⁠⁠⁠⁠Sn—公式資料で確認できず磁性材料、Cu、Ni、Au、SnAg、⁠⁠⁠⁠⁠⁠Rh
処理能力4〜8チャンバ、月約4,000枚（Au）⁠・約8,000枚（Cu）カップ数を2カップ単位で増設—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途・材質シリコン・GaAs・GaNウェーハバンプ、再配線、W-CSP、MEMSTSV、RDL、マイクロバンプ
特長生産レシピ・記録・録画、カソードコンタクト洗浄スピンリンサードライヤー、リングカソード膜厚の面内均一性、合金の組成安定性

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ウェーハめっきシステム SKY LANE​のよくある質問

Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEはどんな人に向いている？
ウェーハめっきシステム SKY LANEは、化合物半導体ウェーハの量産に使う人向けです。ウェーハめっきシステム SKY LANEは、フェイスダウンのチャンバを4〜8個並べ、走行式のスカラロボットでウェーハを運ぶ全自動機です。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEの強みは？
ウェーハめっきシステム SKY LANEは、Cuめっきなら月約8,000枚、Auめっきなら月約4,000枚を流せます。シリコンのほかGaAs・GaNのウェーハにも使えます。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEはどんな方式？
ウェーハめっきシステム SKY LANEの種類はウエハ用の全自動機（カップ式・チャンバ式）で⁠す⁠。半導体のウエハを、カセットから取り出してめっき・洗浄・乾燥まで自動で進める装置です。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEの主な仕様は？
ウェーハめっきシステム SKY LANEの方式は全自動、スカラロボット搬送、処理物はウェーハ3・4・5・6・8インチです。めっきの種類はCu、Ni、Au、Sn、処理能力は4〜8チャンバ、月約4,000枚（Au）⁠・約8,000枚（Cu）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEとウエハめっき装置 POSFER Cはどっちがいい？
化合物半導体ウェーハの量産ならウェーハめっきシステム SKY LANE、バンプ・再配線のウエハ量産ならEEJAテクノロジーズのウエハめっき装置 POSFER Cです。ウェーハめっきシステム SKY LANEの方式は全自動、スカラロボット搬送、処理物はウェーハ3・4・5・6・8インチです。EEJAテクノロジーズのウエハめっき装置 POSFER Cの方式は大量生産向けフルオート、処理物はウエハ4・5・6・8インチです。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEの用途・材質は？
ウェーハめっきシステム SKY LANEの用途・材質はシリコン・GaAs・GaNウェーハです。EEJAテクノロジーズのウエハめっき装置 POSFER Cの用途・材質はバンプ、再配線、W-CSP、MEMSです。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEの特長は？
ウェーハめっきシステム SKY LANEの特長は生産レシピ・記録・録画、カソードコンタクト洗浄です。EEJAテクノロジーズのウエハめっき装置 POSFER Cの特長はスピンリンサードライヤー、リングカソードです。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEとウエハめっき装置 TEAM-FUはどっちがいい？
化合物半導体ウェーハの量産ならウェーハめっきシステム SKY LANE、磁性膜・先端パッケージの配線なら東設のウエハめっき装置 TEAM-FUです。ウェーハめっきシステム SKY LANEの方式は全自動、スカラロボット搬送、処理物はウェーハ3・4・5・6・8インチです。東設のウエハめっき装置 TEAM-FUの方式はフェイスアップ式の全自動、処理物はウエハ4・6・8・12インチです。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEのほかに友藍サイエンスのめっき装置はある？
あります。友藍サイエンスのめっき装置には、ウェーハめっきシステム SKY LANEのほかにUBM無電解めっきシステム ELPS-UBM（方式は全自動、25枚×2キャリアのラック搬送⁠）⁠があります。
Q.ウェーハめっきシステム SKY LANEはどこのメーカー？
ウェーハめっきシステム SKY LANEは友藍サイエンス株式会社の製品です。めっき装置・表面処理装置・半導体装置・自動装置の設計・製作・販売を行う会社です。

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