めっき装置とは？量産ライン・ウエハ用・無電解・研究開発用のめっき装置の種類と、ウエハサイズ・めっきの種類・価格の選び方

めっき装置とは

めっき装置は、部品や基板・ウエハをめっき液に浸し、電気や液の化学反応で表面に金属の膜を付ける装置です。めっきラインとも呼びます。工場の部品の量産から、半導体のバンプや配線づくり、大学・研究所の実験まで使います。

比較ページには、日本の会社が自社で作るめっき装置を、各社の代表の型の単位で載せています。めっき液だけの薬品、めっきの受託加工、めっき用の直流電源、洗浄機は載せていません。

4つの種類

• 量産ライン（キャリヤ・連続搬送）は、部品や基板を前処理からめっき・取り出しまで自動で流します。例は中央製作所のアイシーキャリアと、上村工業のU-VCPSです
• ウエハ用の全自動機は、ウエハをカセットから出してめっき・洗浄・乾燥まで自動で進めます。例はEEJAテクノロジーズのPOSFER C、東設のTEAM-FU、友藍サイエンスのSKY LANEです
• 無電解めっきのバッチ式は、電気を使わずにウエハをまとめて浸します。例は友藍サイエンスのELPS-UBMと、奥野製薬工業のTORYZA EL SYSTEMです
• 研究開発用は、めっき液や条件を試す手動・卓上の装置です。例は山本鍍金試験器のA-52と、EEJAテクノロジーズの手動めっき装置です

ウエハサイズ

• 東設のTEAM-FUは、4・6・8・12インチのウエハに使えます
• EEJAテクノロジーズのPOSFER Cは、4・5・6・8インチです
• 友藍サイエンスのSKY LANEは、3〜8インチです
• 無電解の奥野製薬工業のTORYZA EL SYSTEMと友藍サイエンスのELPS-UBMは、6・8・12インチです

めっきできる金属

• 東設のTEAM-FUは、磁性材料・Cu・Ni・Au・SnAg・Rhです
• 友藍サイエンスのSKY LANEは、Cu・Ni・Au・Snです
• 友藍サイエンスのELPS-UBMは、無電解でNi・Pd・Auを積みます

処理能力

• 友藍サイエンスのSKY LANEは4〜8チャンバで、Cuめっきなら月約8,000枚、Auめっきなら月約4,000枚です
• 奥野製薬工業のTORYZA EL SYSTEMは、1回に最大50枚のウエハを運びます
• 中央製作所のアイシーキャリアは、キャリヤが500mm/sで走り、バレルあたり40〜80kgを入れます

研究開発用の選び方

• 山本鍍金試験器のA-52は、2〜8inchのウェハのほか、SiC・ガラス・GaAs・InPの基板にも使えます。治具は試料の形に合わせて作れます
• EEJAテクノロジーズの手動めっき装置は、1カップの実験機から組め、カップは最大26カップまで増やせます

値段の決まり方

• 載せた製品で、値段を公式に出しているものはありません
• 処理物や治具、槽の数に合わせて作る受注生産が多いので、流すもの・金属・枚数を決めて見積もりを取ります