スパッタ用パルス電源（DCパルス・HiPIMS）のメーカー2社比較【2026年】

3製品とも、公式の公開価格はありません。電力の大きさと入れ方で作りが変わるので、見積もりで比べます。計測技術研究所の値は仕様例で、発注のときに用途に合わせて決めます。ターゲットの大きさと材料、入れたい電力を伝えて見積もりを取ります。保守と、据え付けの費用も合わせて聞きます。納期も確かめます。

アルバックのDC-10-Pは、電圧を反転して異常放電を抑える電源で、定格は10kWです。計測技術研究所のHiPIMSタイプは、ピーク電力1MW・ピーク電流1000Aまで出します。放電を安定させるならDCパルス、高いピーク電力を入れるならHiPIMSから見ます。ターゲットの材料を伝えて選びます。

電力の入れ方と、出せる電力が違います。アルバックのDC-10-PはDCパルスで、定格10kWです。計測技術研究所のHiPIMSタイプはピーク電力1MW、高周波タイプは200kHzで最小500ns以下のパルスを出します。反応性スパッタならDC-10-P、高いピーク電力ならHiPIMSタイプです。

アルバックのDC-10-Pは、5k〜150kHzで800V、155k〜250kHzで650V、25Aです。計測技術研究所のHiPIMSタイプはバイアス0〜1200V・ピーク1000A、高周波タイプは0〜1000V・ピーク100Aです。ターゲットの大きさに合わせて選びます。負荷で変わるので、波形も見せてもらいます。

アルバックのDC-10-Pは5k〜250kHz、計測技術研究所の高周波タイプは200kHz、HiPIMSタイプは10kHzです。反転の周期を細かく決めたいなら、DC-10-Pから見ます。逆パルスの幅は、DC-10-Pが0.4〜5.0μsです。膜の材料に合わせて、周波数を決めます。作りたい膜の条件を伝えて、合う機種を聞きます。

アルバックのDC-10-Pは定格10kWで、同じシリーズに定格5kWのDC-5-Pもあります。計測技術研究所のHiPIMSタイプは平均0〜60kW・ピーク1MW、高周波タイプは平均0〜20kW・ピーク100kWです。ターゲットに入れたい電力を決めて選びます。平均とピークの両方を伝えます。

アルバックのDC-10-Pは、決めた周期で出力電圧を反転し、ターゲットの電荷をためません。異常放電を抑え、ハイパワーを入れられると書いています。反応性スパッタで、絶縁物の膜を作るときに向きます。反転の周期を、膜の材料に合わせて決めます。HiPIMSで高いピーク電力を入れるなら、計測技術研究所から見ます。

計測技術研究所は、HiPIMSタイプと高周波タイプの値を仕様例として出しています。発注のときに、用途に合わせて値を決めます。出したい電圧・電流・パルスの時間を伝えて、作れるかを聞きます。バイポーラ出力にも使えます。仕様例の値は、そのまま決まった値と見込まずに、見積もりで確かめます。納期も合わせて聞きます。

アルバックのDC-10-Pは483×630×133mmで、36kgです。入力は3相AC208Vです。計測技術研究所は、大きさを公式に出していません。成膜装置のラックに入るかを、大きさで確かめます。電源の工事も見込みます。同じ機種の組み合わせなら、並列でも動きます。並べる台数も先に決めます。

このページには、アルバックと計測技術研究所の2社を載せています。反応性スパッタで異常放電を抑えたいならアルバック、高いピーク電力や高い周波数を決めて作りたいなら計測技術研究所です。どちらも、値段は見積もりです。ターゲットの大きさと材料、入れたい電力を伝えて、2社に聞きます。納期も確かめます。