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プラズマ・放電用の高電圧パルス電源のメーカー4社比較【2026年】

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源は、
数kVから100kVp級のパルスを、
ナノ秒の立上がりで出す電源です。

ABOUT

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源とは

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源とは、数kVから100kVp級のパルスを、
ナノ秒の立上がりで出す電源です。

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源は、出力電圧と立上がりと、パルス幅・繰り返し・使う所の違いで比べて選びます。

特に、SiCスイッチで正負10kVを出すのはネクスファイ・テクノロジー、100kVp・3kApまで出すのはパルスパワー技術研究所、幅25ns以下と15000ppsの2型を出すのは末松電子製作所、エキシマレーザの電源に使われるのは明電舎です。

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。仕組みと用途は栗田製作所と明電舎の解説による。

LIST

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源の比較表

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源の価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
プラズマ・放電用の高電圧パルス電源6製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み使用用途・場所価格
株式会社末松電子製作所MPC1110S-15KLP パルスパワー電源製品の詳細を見るメーカー公式サイトsuematsu-el.jp

磁気パルス圧縮方式で、繰り返しを高くできるパルスパワー電源です。AC100Vで動きます。

繰り返しを最大15000ppsまで上げられ、立上がりは約50nsです。電波法の設置許可が必要な高周波利用設備に当たるので、先に管轄の総合通信局へ確かめます。

—公式資料で確認できず要見積
株式会社末松電子製作所超短パルス電源 PPM1000S-1KESP製品の詳細を見るメーカー公式サイトsuematsu-el.jp

気中放電や誘電体バリア放電に使う、超短パルスの電源です。AC100Vで動き、約6.2kgです。

パルスのテール部分を切る独自の技術で、幅を25ns以下に抑えました。立上がりは10ns以下、繰り返しは最大1000ppsです。

気中放電、誘電体バリア放電

要見積
ネクスファイ・テクノロジー株式会社ナノインパルス発生器製品の詳細を見るメーカー公式サイトnexfi-tech.com

大気圧プラズマや絶縁試験器に使う、ナノ秒の高電圧パルス発生器です。連続運転とバースト運転の型があります。

内製の高電圧SiCスイッチで、立ち上がり100ns以下のパルスを正負10kVで出せます。繰り返しはDC〜100kHzです。

大気圧プラズマ、絶縁試験器

要見積
株式会社パルスパワー技術研究所スマートパルスパワー電源製品の詳細を見るメーカー公式サイトmyppj.com

排ガスの分解や工場排水の浄化に使う、100kVp級の大出力のパルスパワー電源です。

電圧は100kVp、電流は3kApまで出せます。パルス幅は50〜200nsで、三角波などほかの波形もnsの単位で調整できます。

排ガスの分解、工場排水の浄化

要見積
株式会社明電舎パルス電源 30kV・15kW級製品の詳細を見るメーカー公式サイトmeidensha.co.jp

エキシマレーザやEUV光源の開発に使う、高繰り返しで大きな電力を出すパルス電源です。

IGBTと磁気パルス圧縮回路でパルスを作り、30kVまで・平均15kWを最大6kHzで出せます。エキシマレーザの電源として、半導体露光に使われています。

エキシマレーザ、EUV光源開発

要見積
株式会社明電舎実験用パルス電源 30kV・10W級製品の詳細を見るメーカー公式サイトmeidensha.co.jp

パルス発生と充電器を1台にまとめた、研究室で使う明電舎の実験用のパルス電源です。

約30kVのパルスを約60nsの立ち上がりで出し、繰り返しは最大1kHzです。質量は約11kgで、直流電源を介せばAC100Vで動きます。

—公式資料で確認できず要見積
FEATURES

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源の使用用途・特徴・メリット

使用用途

  • どこに使うか

    放電やプラズマを起こすときや、エキシマレーザ・排ガス処理の電源に。

  • 何のために使うか

    数10kV以上の高電圧を、ナノ秒の速い立上がりで出せるからです。

特徴

  • どんなものか

    数kVから100kVp級のパルスを、ナノ秒の立上がりで出す型です。

  • 強み

    末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは、立上がり10ns以下・幅25ns以下です。

メリット

  • 使うメリット

    短いパルスで、放電やプラズマを起こしやすくなります。

  • 直流の高圧電源に比べたメリット

    出すのが短い時間なので、出力電圧を上げやすくなります。

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源を使う根本の理由は、ナノ秒の短い時間に高い電圧をかけて、放電やプラズマを起こせることです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

  1. 電圧・幅・立上がりは負荷で変わる

    末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは、出力電圧と負荷で値が変わります。

    よくある失敗無負荷の値だけ見て、機種を決める。

  2. 設置の許可が必要な型がある

    MPC1110S-15KLPは、電波法第100条の設置許可が必要な高周波利用設備です。

    よくある失敗管轄の総合通信局に確かめずに、据え付ける。

  3. 高電圧の配線と接地を先に決める

    明電舎の30kV・15kW級は、各ユニット90kgの大きさです。

    よくある失敗置き場所と配線の道を決めずに、発注する。

  4. 公開価格はほとんど出ていない

    どの製品も、公式の公開価格を出していません。

    よくある失敗1社だけの見積もりで、値段を決める。

Q&A

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源選びで、よくある疑問

購買担当の疑問高電圧パルス電源はいくら?

6製品とも、公式の公開価格はありません。出力電圧・パルス幅・繰り返し・負荷で作りが変わるので、見積もりで比べます。各社に同じ条件を伝えると、答えを横に並べられます。実験用の小型機か、量産設備の大型機かで値段は大きく変わります。保守と、据え付けの費用も合わせて聞きます。納期も合わせて聞きます。

設備担当の疑問6製品の違いは?

出せる電圧と、パルスの短さが違います。パルスパワー技術研究所のスマートパルスパワー電源は30kVp〜100kVp、明電舎は30kVまでです。末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは幅25ns以下、MPC1110S-15KLPは15000ppsです。ネクスファイ・テクノロジーのナノインパルス発生器は、正負10kVをDC〜100kHzで出します。

工場長の疑問出力電圧は?

パルスパワー技術研究所のスマートパルスパワー電源は30kVp〜100kVp、明電舎は30kV級です。末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは無負荷時25kV、MPC1110S-15KLPは500Ω負荷時11kVです。ネクスファイ・テクノロジーは正負10kVです。負荷を決めて、そのときの電圧を各社に聞きます。

工場長の疑問立上がりとパルス幅は?

末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは立上がり10ns以下・幅25ns以下、MPC1110S-15KLPは約50nsです。パルスパワー技術研究所は立上がり20ns〜、幅50〜200nsです。明電舎の実験用は約60ns、30kV・15kW級は幅100nsです。負荷で変わるので、同じ条件の波形で比べます。

工場長の疑問繰り返し周波数は?

ネクスファイ・テクノロジーのナノインパルス発生器はDC〜100kHz、末松電子製作所のMPC1110S-15KLPは15000pps、PPM1000S-1KESPは1000ppsです。パルスパワー技術研究所は1kHz〜10kHz、明電舎の30kV・15kW級は〜6kHz、実験用は〜1kHzです。処理の速さに合わせて選びます。

施設管理の疑問何に使える?

明電舎はエキシマレーザとEUV光源の開発、パルスパワー技術研究所は排ガスの分解と工場排水の浄化を挙げています。末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは気中放電と誘電体バリア放電、ネクスファイ・テクノロジーは大気圧プラズマと絶縁試験器です。使う負荷を伝えて、合う機種を聞きます。

工場長の疑問大きさと重さは?

末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは約6.2kg、MPC1110S-15KLPのパルスパワーユニットは6.1kgです。明電舎の実験用は約11kgで、30kV・15kW級は各ユニット90kgです。実験台に載せるなら末松か明電舎の実験用、量産設備なら大型機から見ます。置き場所と、配線の道も決めます。

工場長の疑問電源の入力は?

末松電子製作所の2製品は、AC100Vで動きます。明電舎の実験用は、直流電源を介してAC100Vで動きます。ネクスファイ・テクノロジーのナノインパルス発生器は、単相AC100Vや三相AC200Vなどです。置く所の電源を確かめてから選びます。大きな機種は、電源の工事も見込みます。大きな機種ほど工事が増えます。

総務の疑問設置の許可は必要?

型によって必要です。末松電子製作所のMPC1110S-15KLPは、電波法第100条の設置許可を必要とする高周波利用設備に当たります。ほかの機種も、高い周波数を使うなら、管轄の総合通信局へ先に確かめます。許可が下りるまでの日数も見込んで、据え付けの日を決めます。許可の書類に使う値も、メーカーに聞きます。

経営者の疑問プラズマ・放電用のメーカーは?

このページには、ネクスファイ・テクノロジー・パルスパワー技術研究所・末松電子製作所・明電舎の4社を載せています。電圧の高さならパルスパワー技術研究所、短いパルスなら末松電子製作所、エキシマレーザの電源なら明電舎です。電子顕微鏡や質量分析向けの松定プレシジョンは、会社の製品一覧に載せています。

MAKERS

プラズマ・放電用の高電圧パルス電源の主なメーカー4社

株式会社末松電子製作所

特徴
電気さく関連資材一式の開発・製造・販売を手がける会社です。

熊本県

ネクスファイ・テクノロジー株式会社

特徴
最先端の半導体技術を活用し、高速・高繰り返しのパルスを発生する電源を製造・販売しています。

大阪府

株式会社パルスパワー技術研究所

特徴
パルスパワーの発生と制御に関する技術支援・実験品試作・共同研究を手がける会社です。

滋賀県

株式会社明電舎

特徴
重電メーカー。 パワーコンディショナを熟知したシステムインテグレータとして太陽光発電システムも設計する。
強み
  • 連結10,082名
  • 自動車のテスト設備

東京都

CITE

引用

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