マグネトロン・高周波プラズマ用パルス電源のメーカー3社比較【2026年】

3製品とも、公式の公開価格はありません。出力電圧・パルス幅・繰り返し・負荷で作りが変わるので、見積もりで比べます。栗田製作所のモジュレータは、直流電源とリモート操作ボックスが別なので、含めた値段を聞きます。同じ条件を3社に伝えて、横に並べます。保守と、据え付けの費用も合わせて聞きます。

負荷と、パルスの出し方が違います。ネクスファイ・テクノロジーのPPT500-2.5k-01は、500kHzの高周波パルスを±10kVで出します。パルスパワー技術研究所のマグネトロン用は、-37kVp・88Ap・4.5μsです。栗田製作所のモジュレータは、高電圧の直流を-20kV・60Apのパルスにします。

栗田製作所のモジュレータは、1μs〜30μs（DUTY<2%）で変えられます。パルスパワー技術研究所のマグネトロン用は、4.5μsです。ネクスファイ・テクノロジーのPPT500-2.5k-01は、幅を公式に出していません。負荷に合う幅を伝えて、出せるかを聞きます。波形も見せてもらいます。

ネクスファイ・テクノロジーのPPT500-2.5k-01は500kHzで、同じ外形で100kHzから500kHzまでそろいます。栗田製作所のモジュレータは500Hz〜5kHz、パルスパワー技術研究所のマグネトロン用は200Hzです。処理の速さと、負荷の求める繰り返しで選びます。電力との組み合わせも聞きます。

パルスパワー技術研究所のマグネトロン用は-37kVp・88Ap、栗田製作所のモジュレータは0〜-20kV・60Apです。ネクスファイ・テクノロジーのPPT500-2.5k-01は±10kVで、電源電力は2.5kWです。値は負荷の条件で変わるので、使う負荷を伝えて確かめます。波形も見せてもらいます。

パルスパワー技術研究所のマグネトロン用高電圧パルス電源は、マグネトロンを動かすための専用の電源です。電圧上昇率が100kV/μsと速く、マグネトロンが長く持つと書いています。ほかの2製品は、マグネトロン向けと公式に書いていません。使うマグネトロンの型を伝えて確かめます。出力の値も合わせて聞きます。

ネクスファイ・テクノロジーのPPT500-2.5k-01は、大気圧プラズマ・液中プラズマ・成膜装置を使い道に挙げています。周波数と電力の組み合わせで、型番を選べます。栗田製作所のモジュレータは、使い道を公式に書いていません。処理する物と、プラズマの大きさを伝えて選びます。試しの処理を頼めるかも聞きます。

栗田製作所のモジュレータは、入力した高電圧の直流をパルスにして出すので、直流電源とリモート操作ボックスを別に揃えます。ネクスファイ・テクノロジーのPPT500-2.5k-01は、三相AC200Vを入力します。見積もりのときに、どこまで含まれるかを確かめます。別に揃える物の費用も、合わせて聞きます。

栗田製作所のモジュレータは570×1730×800mmで、約200kgです。ネクスファイ・テクノロジーのPPT500-2.5k-01は、340×495×620mmです。パルスパワー技術研究所は、大きさを公式に出していません。置き場所の広さと、床の強さを確かめます。配線の道も、先に決めます。

このページには、栗田製作所・ネクスファイ・テクノロジー・パルスパワー技術研究所の3社を載せています。高い周波数ならネクスファイ・テクノロジー、マグネトロンの駆動ならパルスパワー技術研究所、高電圧の直流をパルスにするなら栗田製作所です。ナノ秒の型は、別の種類のページで比べています。