LITHOGRAPHY-STEPPER / MZ-27565

ステッパー AP300ビーコ・ジャパン株式会社

Name: ステッパー AP300
Brand: ビーコ・ジャパン株式会社

大きく反ったウエハーを扱う後工程向けのステッパーです。

2026年10月28日確認

仕様

向いている所：ファンアウト・TSVの露光

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

AP200/300共通ページの仕様を掲載。ウエハー径の組み合わせ・反り対応・光学系の構成は見積時に指定します。解像力の線幅評価条件は公式ページに記載なし。

ステッパー AP300の口コミは、まだありません。
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出典（2026年10月28日確認）