パネル用ステッパー JetStep X500オントゥ・イノベーション⁠・ジャパン株式会社

仕様

向いている所：ガラス・CCLの大型パネル露光

工程・基板の区分

パネル基板用

露光波長

—公式資料で確認できず

解像力

3µm L/S、技術論文の構成

露光領域

最大250×250mm

重ね合せ精度

<1µm、技術論文の構成

対応基板寸法

510×515mm、ガラス・CCL基板

価格

—公式資料で確認できず

縮小比

—公式資料で確認できず

開口数NA

—公式資料で確認できず

焦点深度

—公式資料で確認できず

機能・⁠⁠⁠条件

縦横独立の倍率補正、露光位置ごとのオートフォーカス

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

数値はメーカー技術論文で用いた構成。現行製品ページに構成別の波長や重ね合せ評価条件の数値はないため、見積時に照合します。

同じ分類のほかの型番

半導体用ステッパーの10製品を比較表で見る