i線ステッパー FPA-5550iZ2キヤノン株式会社

仕様

向いている所：ロジック・メモリーの露光

工程・基板の区分

前工程のウエハー用

露光波長

i線365nm

解像力

≦350nm

露光領域

26×33mm

重ね合せ精度

SMO≦18nm、MMO≦25nm、オプション適用時

対応基板寸法

200mm・300mmから選択

価格

—公式資料で確認できず

縮小比

1:4

開口数NA

0.57〜0.45、自動可変

焦点深度

—公式資料で確認できず

機能・⁠⁠⁠条件

ショット形状補正機能SSC

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

重ね合わせ精度はオプション適用時の公表値。SMOは自己重ね、MMOは機差重ねを示します。

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